♦Ալյումին (Ալյումին)2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) ընկերության կողմից արտադրվող ճշգրիտ կերամիկական մասերը կարող են պատրաստվել բարձր մաքրության կերամիկական հումքից, 92~97% ալյումինից, 99.5% ալյումինից, >99.9% ալյումինից և CIP սառը իզոստատիկ սեղմումից: Բարձր ջերմաստիճանի սինտերինգ և ճշգրիտ մեքենայացում, ± 0.001 մմ չափերի ճշգրտություն, մինչև Ra0.1 հարթություն, մինչև 1600 աստիճան օգտագործման ջերմաստիճան: Հաճախորդի պահանջներին համապատասխան կարող են պատրաստվել կերամիկայի տարբեր գույներ, ինչպիսիք են՝ սև, սպիտակ, բեժ, մուգ կարմիր և այլն: Մեր ընկերության կողմից արտադրվող ճշգրիտ կերամիկական մասերը դիմացկուն են բարձր ջերմաստիճանի, կոռոզիայի, մաշվածության և մեկուսացման նկատմամբ, և կարող են երկար ժամանակ օգտագործվել բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի և կոռոզիոն գազային միջավայրում:
Լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդչային արտադրության բազմազան սարքավորումներում՝ շրջանակներ (կերամիկական հենարան), հիմք (հիմք), բազկ/կամուրջ (մանիպուլյատոր), մեխանիկական բաղադրիչներ և կերամիկական օդային կրողներ։
| Արտադրանքի անվանումը | Բարձր մաքրության 99 ալյումինե կերամիկական քառակուսի խողովակ / խողովակ / ձող | |||||
| Ինդեքս | Միավոր | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
| Խտություն | գ/սմ3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Ջրի կլանումը | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Սինտերացված ջերմաստիճան | ℃ | 1620թ. | 1650թ. | 1800թ. | 1800թ. | |
| Կարծրություն | Մոհս | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Ծռման ուժը (20℃)) | Մպա | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Սեղմման ուժ | Կգֆ/սմ2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Երկարատև աշխատանքային ջերմաստիճան | ℃ | 1350թ. | 1400 | 1600 | 1650թ. | |
| Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը | ℃ | 1450 | 1600 | 1800թ. | 1800թ. | |
| Ծավալի դիմադրություն | 20℃ | Ω սմ3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Բարձր մաքրության ալյումինե կերամիկայի կիրառումը.
1. Կիրառվում է կիսահաղորդչային սարքավորումների վրա՝ կերամիկական վակուումային չակ, կտրող սկավառակ, մաքրող սկավառակ, կերամիկական չակ:
2. Վաֆլիների փոխանցման մասեր՝ վաֆլիների մշակման կեռիկներ, վաֆլի կտրող սկավառակներ, վաֆլի մաքրող սկավառակներ, վաֆլի օպտիկական ստուգման ներծծող բաժակներ:
3. LED / LCD հարթ վահանակների արդյունաբերություն. կերամիկական ծայրակալ, կերամիկական հղկող սկավառակ, բարձրացնող քորոց, քորոցային ռելս:
4. Օպտիկական կապ, արևային արդյունաբերություն. կերամիկական խողովակներ, կերամիկական ձողեր, միկրոսխեմաների էկրանային տպագրության կերամիկական քերիչներ:
5. Ջերմակայուն և էլեկտրականորեն մեկուսացնող մասեր՝ կերամիկական կրողներ։
Ներկայումս ալյումինի օքսիդային կերամիկան կարելի է բաժանել բարձր մաքրության և սովորական կերամիկայի: Բարձր մաքրության ալյումինի օքսիդային կերամիկայի շարքը վերաբերում է կերամիկական նյութերին, որոնք պարունակում են ավելի քան 99.9% Al₂O₃: Մինչև 1650-1990°C թրծման ջերմաստիճանի և 1 ~ 6 մկմ ալիքի երկարության պատճառով այն սովորաբար մշակվում է հալեցված ապակու՝ պլատինե հալվածքի փոխարեն, որը կարող է օգտագործվել որպես նատրիումային խողովակ՝ լույսի թափանցելիության և ալկալիական մետաղի նկատմամբ կոռոզիոն դիմադրության շնորհիվ: Էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ այն կարող է օգտագործվել որպես բարձր հաճախականության մեկուսիչ նյութ ինտեգրալ սխեմաների հիմքերի համար: Ալյումինի օքսիդի տարբեր պարունակության համաձայն՝ սովորական ալյումինի օքսիդային կերամիկայի շարքը կարելի է բաժանել 99 կերամիկայի, 95 կերամիկայի, 90 կերամիկայի և 85 կերամիկայի: Երբեմն 80% կամ 75% ալյումինի օքսիդ պարունակող կերամիկան նույնպես դասակարգվում է որպես սովորական ալյումինի օքսիդային կերամիկայի շարք: Դրանցից 99-ը ալյումինի օքսիդային կերամիկական նյութ է, որն օգտագործվում է բարձր ջերմաստիճանի հալոցքի, հրակայուն վառարանային խողովակների և հատուկ մաշվածությանը դիմացկուն նյութերի, ինչպիսիք են կերամիկական կրողները, կերամիկական կնիքները և փականային թիթեղները, արտադրության համար: 95-ը ալյումինե կերամիկան հիմնականում օգտագործվում է որպես կոռոզիային դիմացկուն մաշվածությանը դիմացկուն մաս: 85-ը հաճախ խառնվում է որոշ հատկությունների հետ, դրանով իսկ բարելավելով էլեկտրական կատարողականությունը և մեխանիկական ամրությունը: Այն կարող է օգտագործել մոլիբդեն, նիոբիում, տանտալ և այլ մետաղական կնիքներ, իսկ որոշները՝ որպես էլեկտրական վակուումային սարքեր:
| Որակյալ ապրանք (ներկայացուցչական արժեք) | Արտադրանքի անվանումը | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Քիմիական կազմ՝ ցածր նատրիումի պարունակությամբ, հեշտ սինթերացման արտադրանք | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Լոլ | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| ՄգՕ* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Միջին մասնիկի տրամագիծ (MT-3300, լազերային վերլուծության մեթոդ) | մկմ | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α բյուրեղի չափը | մկմ | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Ձևավորման խտություն** | գ/սմ³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Սինտերացման խտություն** | գ/սմ³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Սինտերացման գծի կծկման արագություն** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO-ն չի ներառվում Al₂O₃-ի մաքրության հաշվարկում։
* Առանց թեփի փոշի՝ 29.4 ՄՊա (300 կգ/սմ²), սինտերացման ջերմաստիճանը՝ 1600°C:
AES-11 / 11C / 11F: Ավելացրեք 0.05 ~ 0.1% MgO, սինտերացիան գերազանց է, ուստի այն կիրառելի է 99%-ից ավելի մաքրությամբ ալյումինի օքսիդային կերամիկայի համար:
AES-22S: Բնութագրվում է բարձր ձևավորման խտությամբ և սինտերացման գծի ցածր կծկման արագությամբ, այն կիրառելի է սահող ձևի ձուլման և այլ խոշորածավալ արտադրանքի համար՝ պահանջվող չափսերի ճշգրտությամբ։
AES-23 / AES-31-03: Այն ունի ավելի բարձր ձևավորման խտություն, թիքսոտրոպություն և ավելի ցածր մածուցիկություն, քան AES-22S-ը: Առաջինը օգտագործվում է կերամիկայի համար, մինչդեռ երկրորդը օգտագործվում է որպես ջրի նվազեցնող հրակայուն նյութերի համար, ձեռք բերելով ժողովրդականություն:
♦Սիլիցիումի կարբիդի (SiC) բնութագրերը
| Ընդհանուր բնութագրեր | Հիմնական բաղադրիչների մաքրությունը (քաշային %) | 97 | |
| Գույն | Սև | ||
| Խտություն (գ/սմ³) | 3.1 | ||
| Ջրի կլանումը (%) | 0 | ||
| Մեխանիկական բնութագրեր | Ճկման ամրություն (ՄՊա) | 400 | |
| Յունգի մոդուլ (GPa) | 400 | ||
| Վիկերսի կարծրություն (GPa) | 20 | ||
| Ջերմային բնութագրեր | Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը (°C) | 1600 | |
| Ջերմային ընդարձակման գործակից | Ջերմաստիճանը~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | Ջերմաստիճանը~800°C | 4.3 | |
| Ջերմահաղորդականություն (Վտ/մ x Կ) | 130 110 | ||
| Ջերմային ցնցման դիմադրություն ΔT (°C) | 300 | ||
| Էլեկտրական բնութագրեր | Ծավալի դիմադրություն | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Դիէլեկտրիկ հաստատուն | 10 ԳՀց | - | |
| Դիէլեկտրիկ կորուստ (x 10-4) | - | ||
| Q գործոն (x 104) | - | ||
| Դիէլեկտրիկ խզման լարում (կՎ/մմ) | - | ||
♦Սիլիցիումի նիտրիդային կերամիկա
| Նյութ | Միավոր | Si₃N₄ |
| Սինտերացման մեթոդ | - | Գազի ճնշումը սինտրացված |
| Խտություն | գ/սմ³ | 3.22 |
| Գույն | - | Մուգ մոխրագույն |
| Ջրի կլանման մակարդակը | % | 0 |
| Երիտասարդ մոդուլ | Մոտավոր գնահատական | 290 |
| Վիկերսի կարծրություն | Մոտավոր գնահատական | 18 - 20 |
| Սեղմման ուժ | Մպա | 2200 |
| Ծռման ուժը | Մպա | 650 |
| Ջերմահաղորդականություն | Վտ/մկ | 25 |
| Ջերմային ցնցումների դիմադրություն | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը | °C | 1200 |
| Ծավալի դիմադրություն | Ω·սմ | > 10 ^ 14 |
| Դիէլեկտրիկ հաստատուն | - | 8.2 |
| Դիէլեկտրիկ ամրություն | կՎ/մմ | 16 |