Քանի որ կիսահաղորդչային արդյունաբերությունը ագրեսիվորեն ձգտում է 2 նմ-ից ցածր տրամագծով պրոցեսային հանգույցների ստեղծմանը, մեխանիկական սխալների առաջացման հնարավորությունը գործնականում անհետացել է: Այս բարձր ռիսկային միջավայրում պրոցեսային խցիկի կայունությունը այլևս երկրորդական մտահոգություն չէ. այն արտադրողականության հիմնական խոչընդոտն է: ZHHIMG-ում մենք ականատես ենք լինում համաշխարհային OEM-ների մոտեցման հիմնարար փոփոխության, կիսահաղորդչային կապիտալ սարքավորումների կառուցվածքային ամբողջականության հարցում:
Լռության ֆիզիկա. Տատանումների մարման առաջադեմ տեխնիկաներ
Ժամանակակից վեֆերի արտադրության մեջ այն տատանումները, որոնք մի ժամանակ համարվում էին «ֆոնային աղմուկ», այժմ աղետալի են։ Անկախ նրանից, թե դա օբյեկտի HVAC համակարգից միկրոտատանումներ են, թե բարձր արագությամբ սկանավորման բեմի ներքին իներցիա, անվերահսկելի էներգիան ուղղակիորեն հանգեցնում է համընկնող սխալների և մշուշոտ նախշերի։
Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ թրթռումների մարման ներկայիս տեխնիկաները զարգացել են՝ վերածվելով բազմաշերտ ճարտարապետության: Մինչդեռ պասիվ մարումը, որն օգտագործում է բարձր զանգված ունեցող նյութեր, ինչպիսիք են հանքային ձուլումը կամ ճշգրիտ գրանիտը, մնում է հիմքը, մենք տեսնում ենք ակտիվ մարման ինտեգրման աճ:
Ակտիվ համակարգերը օգտագործում են պիեզոէլեկտրական ակտուատորներ և իրական ժամանակի սենսորներ՝ թրթռումները «չեզոքացնելու» համար՝ հակահաճախականություններ առաջացնելով: Այնուամենայնիվ, ակտիվ համակարգերի արդյունավետությունը բնույթով սահմանափակվում է հիմնական նյութի մարման հարաբերակցությամբ: Ահա թե որտեղ է ZHHIMG-ի փորձը բարձր մարման կառուցվածքային նյութերի ոլորտում դառնում կարևորագույն: Ակտիվ էլեկտրոնիկան բնականորեն իներտ գրանիտի կամ կոմպոզիտային հիմքի հետ համատեղելով՝ մենք ապահովում ենք «հանգիստ գոտի», որտեղ նանո-դիրքորոշումը կարող է տեղի ունենալ առանց միջամտության:
Անշփման շարժման վերելքը. օդային կրող տեխնոլոգիա
Ավելի բարձր թողունակության պահանջարկը ավանդական մեխանիկական կրողներն իրենց սահմաններին է հասցրել։ Շփումը հանգեցնում է ջերմության, իսկ ջերմությունը՝ ջերմային ընդարձակման՝ ճշգրտության թշնամուն։ Սա հանգեցրել է լայնորեն կիրառվող կրող կրող կրող կրող կրող կրիչներին։օդային կրող տեխնոլոգիա ճշգրիտ աստիճանների համար.
Օդային կրողները կրում են բեռը ճնշման տակ գտնվող օդի բարակ թաղանթի վրա, որը սովորաբար ընդամենը մի քանի միկրոն հաստություն ունի: Քանի որ ֆիզիկական շփում չկա, ստատիկ շփումը (կպչունությունը) զրոյական է: Սա թույլ է տալիս.
-
Հիստերեզից զերծ շարժում. ապահովում է, որ բեմը ամեն անգամ վերադառնա նույն նանոմետրական կոորդինատին։
-
Արագության հաստատունություն. կարևոր է սկանավորման այնպիսի կիրառությունների համար, ինչպիսին է էլեկտրոնային ճառագայթի ստուգումը, որտեղ մեխանիկական կրողի նույնիսկ աննշան «ճզմումը» կարող է աղավաղել պատկերը։
-
Ծայրահեղ երկարակեցություն. Քանի որ դիպչող մասեր չկան, չեն մաշվում և մասնիկներ չեն առաջանում, ինչը դրանք իդեալական է դարձնում 1-ին դասի մաքուր սենյակների համար։
ZHHIMG-ում մենք արտադրում ենք գերհարթ գրանիտե մակերեսներ, որոնք ծառայում են որպես այս օդային կրողների ուղեցույցներ: Ճիշտ գործելու համար այս մակերեսները պետք է հղկվեն մինչև հարթություն, որը չափվում է լույսի ալիքի երկարության մասնաբաժիններով:
Կիսահաղորդչային կապիտալ սարքավորումների միտումները. 2026 թվականը և դրանից հետո
Քանի որ մենք անցնում ենք 2026 թվականի միջով,կիսահաղորդչային կապիտալ սարքավորումների միտումներըբնութագրվում են «Երեք սյուներով»՝ մոդուլյարացում, կայունություն և ջերմային կառավարում։
-
Մոդուլային հարթակի նախագծում. Արտադրողները փնտրում են «միացրու և աշխատեցրու» բազային մոդուլներ: Յուրաքանչյուր գործիքի համար նոր հիմք նախագծելու փոխարեն, նրանք օգտագործում են ստանդարտացված ZHHIMG ճշգրիտ հիմքեր, որոնք կարող են հարմարեցվել լիտոգրաֆիայի, չափագիտության կամ փորագրության համար:
-
Ջերմային կառավարում. Քանի որ EUV (Extreme Ultraviolet) լույսի աղբյուրները առաջացնում են հսկայական ջերմություն, մեքենայի հիմքը պետք է գործի որպես հսկայական ջերմափոխանակիչ: Մենք բարդ սառեցման ալիքներ ենք ինտեգրում անմիջապես մեր հանքային և գրանիտե բաղադրիչների մեջ՝ $<0.01^\circ\text{C}$ դելտան պահպանելու համար:
-
Վակուումային համատեղելիություն. Քանի որ ավելի շատ գործընթացներ են անցնում բարձր վակուումային միջավայրեր, օգտագործվող նյութերը պետք է զրոյական արտանետումներ ունենան: Մեր մասնագիտացված գրանիտի և կերամիկայի մշակումը ապահովում է, որ վակուումի ամբողջականությունը երբեք չի խախտվի կառուցվածքային հիմքի պատճառով:
Ռազմավարական գործընկերություն ZHHIMG-ի հետ
ZHHIMG-ը պարզապես բաղադրիչների արտադրող չէ. մենք ռազմավարական գործընկեր ենք շարժման կառավարման մատակարարման շղթայում: Չինաստանում գտնվող մեր գործարանը սերտորեն համագործակցում է Սիլիկոնյան հովտի և Էյնդհովենի ինժեներական թիմերի հետ՝ ոլորտում կայունության ամենաբարդ խնդիրները լուծելու համար:
Մեր սեփական լաքապատման տեխնիկան և մեր խորը գիտելիքները օգտագործելով՝թրթռումների մարման տեխնիկա, մենք մեր հաճախորդներին հնարավորություն ենք տալիս ընդլայնել Մուրի օրենքի սահմանները: Անկախ նրանից, թե դուք մշակում եք նոր սերնդի ALD (ատոմային շերտի նստեցման) գործիք, թե բարձր արագությամբ վաֆլիային զոնդ, հիմքը սկսվում է ZHHIMG-ից:
Եզրակացություն
Կիսահաղորդիչների արտադրության էվոլյուցիան ֆիզիկայի օրենքների դեմ մրցավազք է։ Քանի որ արդյունաբերությունը շարժվում է դեպի 2026 թվականը, օդային կրողների ճշգրտության և առաջադեմ մարման վրա կենտրոնացումը միայն կուժեղանա։ Այս միտումներից առաջ մնալու համար անհրաժեշտ է հիմք՝ թե՛ բառացի, թե՛ փոխաբերական իմաստով՝ հիմնված փորձագիտության և նորարարության վրա։
Հրապարակման ժամանակը. Հունվարի 26-2026