Ճշգրիտ ապակե բաղադրիչներ օպտիկական համակարգերում. կիրառություններ և արտադրական մարտահրավերներ

Օպտիկական ապակին ժամանակակից ֆոտոնիկայի հիմքն է։ Հաղորդակցությունից մինչև պաշտպանություն, այս բաղադրիչների նկատմամբ պահանջները գնալով խստանում են։

Բարձր հզորության լազերային համակարգերում օպտիկական բաղադրիչները պետք է դիմակայեն հսկայական էներգիայի խտություններին: Ապակու վրա ցանկացած մանրադիտակային թերություն կամ խառնուրդ կարող է հանգեցնել լազերի ազդեցության տակ առաջացած վնասի, որը կարող է վնասել ամբողջ համակարգը: Արտադրության մեջ ուշադրության կենտրոնում է ենթամակերեսային վնասի վերացումը և բարձր միատարրության ապահովումը՝ ճառագայթի աղավաղումը կանխելու համար:

Քանի որ տիեզերական աստղադիտակների և հեռազգացման սարքերի ապերտուրայի չափը մեծանում է (այժմ գերազանցում է 4 մետրը), թեթևացման և մակերևույթի ճշգրտության պահանջը սրվում է: Տիեզերքի օպտիկական բաղադրիչները պետք է պահպանեն իրենց ձևը ծայրահեղ ջերմային միջավայրերում, ինչը պահանջում է նյութեր գերցածր ջերմային ընդարձակման գործակիցներով:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ EUV լիտոգրաֆիկ համակարգերը հիմնված են անդրադարձնող հայելիների վրա, որոնց մակերեսային կոպտությունը կարգավորվում է 0.1 նմ-ից (RMS) պակաս: Նույնիսկ ատոմային մակարդակի ուռուցիկությունները կարող են ցրել լույսը և փչացնել չիպի լուծաչափը: Սա ներկայացնում է օպտիկական ապակու արտադրության գագաթնակետը:

Արտադրության մարտահրավերը՝ լարվածություն, հարթություն և սահունություն

1. Ներքին սթրեսի վերահսկում

• Դժվարությունը. կոշտ, փխրուն ապակու մեքենայական մշակումը հաճախ առաջացնում է միկրոլարումներ:
• Մեր մոտեցումը. Մենք օգտագործում ենք առաջադեմ թրծման գործընթացներ և ցածր վնաս հասցնող ձևավորման տեխնիկա: Սառեցման արագությունը խստորեն վերահսկելով և լարվածությունը թեթևացնող մեխանիկական ռազմավարություններ կիրառելով՝ մենք ապահովում ենք, որ ապակու ներքին կառուցվածքը մնա չեզոք և կայուն:

2. Գերբարձր հարթության հասնելը (ցածր հաճախականության ճշգրտություն)

• Մարտահրավեր. Ավանդական հղկումը կարող է թողնել ալիքավորություն կամ ձևավորել սխալներ, որոնք խաթարում են ալիքային ճակատի ճշգրտությունը։
• Մեր մոտեցումը. Մենք կիրառում ենք բարձր ճշգրտությամբ համակարգչային կառավարմամբ օպտիկական մակերևույթային մշակում (CCOS): Սա թույլ է տալիս մեզ շտկել ցածր հաճախականության սխալները (ձևի շեղումները)՝ գագաթնակետից հովիտ (PV) արժեքներ ստանալու համար, որոնք հաճախ 1 նմ-ից պակաս են, ապահովելով, որ օպտիկական ուղին մնա կատարյալ համընկած:

3. Մակերեսի կոպտություն (բարձր հաճախականության հարթություն)

• Դժվարությունը. հղկման հետևանքով մնացած «մշուշի» և միկրոքերծվածքների հեռացումը պահանջում է անցում նյութի հեռացումից մակերեսի հարթեցմանը։
• Մեր մոտեցումը. Մենք օգտագործում ենք առաջադեմ հղկման տեխնոլոգիաներ, այդ թվում՝ մագնիսական օժանդակությամբ հղկում: Այս տեխնիկան թույլ է տալիս խմբաքանակային մշակում կատարել բարդ ձևերի (օրինակ՝ ազատ ձևի ոսպնյակների)՝ միաժամանակ հասնելով նանոմետրական մակերեսային կոպտության (Ra < 0.6 նմ)՝ առանց ենթամակերեսային նոր վնասներ առաջացնելու:

ZHHIMG՝ Ձեր գործընկերը գերճշգրիտության ոլորտում

• Բարդ երկրաչափություններ. ազատ ձևի, ասֆերիկ և հարթ օպտիկական բաղադրիչների մեքենայական մշակում։
• Չափագիտություն և ստուգում. Ինտերֆերոմետրերի և պրոֆիլոմետրերի օգտագործում՝ մակերևույթի որակը և ձևի ճշգրտությունը իրական ժամանակում ստուգելու համար։
• Նյութերի վերաբերյալ փորձագիտություն. խորը փորձ հալեցված սիլիցիումի, քվարցի և մասնագիտացված օպտիկական ապակիների հետ, որոնք հայտնի են բարձր թափանցելիությամբ և ցածր ընդարձակմամբ։