Որո՞նք են կիսահաղորդչային սարքավորումների գրանիտե բաղադրիչների ստանդարտներն ու տեխնիկական բնութագրերը:

Գրանիտե բաղադրիչները լայնորեն օգտագործվում են կիսահաղորդչային սարքավորումներում՝ իրենց բարձր կայունության և ամրության շնորհիվ: Դրանք պատասխանատու են կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացների ճշգրտության և ճշգրտության պահպանման համար: Այնուամենայնիվ, գրանիտե բաղադրիչների արդյունավետությունն ու հուսալիությունը կախված են դրանց նախագծման, արտադրության և տեղադրման ընթացքում պահպանվող ստանդարտներից և տեխնիկական բնութագրերից:

Ստորև բերված են որոշ ստանդարտներ և տեխնիկական բնութագրեր, որոնք պետք է պահպանվեն կիսահաղորդչային սարքավորումներում գրանիտե բաղադրիչներ օգտագործելիս.

1. Նյութի խտություն. Գրանիտե բաղադրիչների արտադրության մեջ օգտագործվող գրանիտե նյութի խտությունը պետք է լինի մոտ 2.65 գ/սմ3: Սա բնական գրանիտե նյութի խտությունն է և ապահովում է գրանիտե բաղադրիչների հատկությունների կայունությունն ու հուսալիությունը:

2. Հարթություն. Հարթությունը կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտե բաղադրիչների ամենակարևոր պահանջներից մեկն է: Գրանիտե մակերեսի հարթությունը պետք է լինի 0.001 մմ/մ2-ից ցածր: Սա ապահովում է, որ բաղադրիչի մակերեսը լինի հարթ և հավասար, ինչը կարևոր է կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացների համար:

3. Մակերեսային մշակում. Գրանիտե բաղադրիչների մակերեսային մշակումը պետք է լինի բարձր որակի՝ 0.4 մկմ-ից ցածր մակերեսային կոպտությամբ։ Սա ապահովում է, որ գրանիտե բաղադրիչի մակերեսն ունենա ցածր շփման գործակից, որը կարևոր է կիսահաղորդչային սարքավորումների սահուն աշխատանքի համար։

4. Ջերմային ընդարձակման գործակից. Կիսահաղորդչային սարքավորումները գործում են տարբեր ջերմաստիճաններում, և գրանիտե բաղադրիչները պետք է կարողանան դիմակայել ջերմային տատանումներին առանց դեֆորմացիայի: Կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտի ջերմային ընդարձակման գործակիցը պետք է լինի 2 x 10^-6 /°C-ից ցածր:

5. Չափսերի հանդուրժողականություն. Չափսերի հանդուրժողականությունը կարևոր է գրանիտե բաղադրիչների աշխատանքի համար: Գրանիտե բաղադրիչների չափսերի հանդուրժողականությունը պետք է լինի ±0.1 մմ-ի սահմաններում բոլոր կրիտիկական չափերի համար:

6. Կարծրություն և մաշվածության դիմադրություն. Կարծրությունը և մաշվածության դիմադրությունը կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտե բաղադրիչների համար կարևորագույն պահանջներ են: Գրանիտն ունի Մոհսի սանդղակի 6-7 կարծրություն, ինչը այն դարձնում է կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործելու համար հարմար նյութ:

7. Մեկուսացման հատկություններ. Կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտե բաղադրիչները պետք է ունենան գերազանց մեկուսացման հատկություններ՝ զգայուն էլեկտրոնային բաղադրիչների վնասումը կանխելու համար: Էլեկտրական դիմադրությունը պետք է լինի 10^9 Ω/սմ-ից բարձր:

8. Քիմիական դիմադրություն. Գրանիտե բաղադրիչները պետք է դիմացկուն լինեն կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացներում օգտագործվող տարածված քիմիական նյութերի, ինչպիսիք են թթուները և ալկալիները, նկատմամբ:

Ամփոփելով՝ կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտե բաղադրիչների ստանդարտներն ու տեխնիկական բնութագրերը կարևոր են ինչպես բաղադրիչների, այնպես էլ դրանցում օգտագործվող սարքավորումների երկարակեցությունն ու հուսալիությունն ապահովելու համար: Վերոնշյալ ուղեցույցները պետք է խստորեն պահպանվեն նախագծման, արտադրության և տեղադրման գործընթացներում՝ բաղադրիչների բարձրագույն որակը ապահովելու համար: Այս ստանդարտներին և տեխնիկական բնութագրերին հետևելով՝ կիսահաղորդչային արտադրողները կարող են ապահովել, որ իրենց սարքավորումների աշխատանքը մնա օպտիմալ, ինչը կհանգեցնի արտադրողականության և շահութաբերության աճի: