Գրանիտե բաղադրիչները լայնորեն կիրառվում են կիսահաղորդչային սարքավորումներում՝ իրենց բարձր կայունության և ամրության շնորհիվ:Նրանք պատասխանատու են կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացների ճշգրտության և ճշգրտության պահպանման համար:Այնուամենայնիվ, գրանիտե բաղադրիչների արդյունավետությունն ու հուսալիությունը կախված են ստանդարտներից և բնութագրերից, որոնք պահպանվում են դրանց նախագծման, պատրաստման և տեղադրման ընթացքում:
Ստորև բերված են որոշ ստանդարտներ և բնութագրեր, որոնք պետք է պահպանվեն կիսահաղորդչային սարքավորումներում գրանիտե բաղադրիչներ օգտագործելիս.
1. Նյութի խտություն. գրանիտե բաղադրամասերի արտադրության մեջ օգտագործվող գրանիտե նյութի խտությունը պետք է լինի մոտ 2,65 գ/սմ3:Սա բնական գրանիտե նյութի խտությունն է, և այն ապահովում է գրանիտի բաղադրիչների հատկությունների հետևողականությունն ու հուսալիությունը:
2. Հարթություն. հարթությունը կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտե բաղադրիչների ամենակարևոր բնութագրիչներից մեկն է:Գրանիտե մակերեսի հարթությունը պետք է լինի 0,001 մմ/մ2-ից ցածր:Սա ապահովում է բաղադրիչի մակերեսի հարթ և հարթ լինելը, ինչը կարևոր է կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացների համար:
3. Մակերեւութային հարդարում. գրանիտե բաղադրիչների մակերևույթի հարդարումը պետք է լինի բարձր որակի, 0,4 մկմ-ից ցածր մակերեսի կոշտությամբ:Սա երաշխավորում է, որ գրանիտե բաղադրիչի մակերեսը ունի շփման ցածր գործակից, ինչը կարևոր է կիսահաղորդչային սարքավորումների անխափան աշխատանքի համար:
4. Ջերմային ընդարձակման գործակից. Կիսահաղորդչային սարքավորումները գործում են տարբեր ջերմաստիճաններում, և գրանիտե բաղադրիչները պետք է կարողանան դիմակայել ջերմային տատանումներին՝ առանց դեֆորմացիայի:Կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտի ջերմային ընդարձակման գործակիցը պետք է լինի 2 x 10^-6 /°C-ից ցածր:
5. Չափային հանդուրժողականություն. Չափային հանդուրժողականությունը կարևոր է գրանիտե բաղադրիչների աշխատանքի համար:Գրանիտե բաղադրիչների ծավալային հանդուրժողականությունը պետք է լինի ±0,1 մմ սահմաններում բոլոր կրիտիկական չափսերի համար:
6. Կարծրություն և մաշվածության դիմադրություն. կարծրությունը և մաշվածության դիմադրությունը կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտե բաղադրիչների հիմնական բնութագրերն են:Գրանիտը ունի Mohs Scale 6-7 կարծրություն, ինչը այն դարձնում է հարմար նյութ կիսահաղորդչային սարքավորումների կիրառման համար:
7. Մեկուսացման արդյունավետությունը. կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտե բաղադրիչները պետք է ունենան գերազանց մեկուսացման արդյունավետություն՝ զգայուն էլեկտրոնային բաղադրիչներին վնաս պատճառելու համար:Էլեկտրական դիմադրությունը պետք է լինի 10^9 Ω/սմ-ից բարձր:
8. Քիմիական դիմադրություն. գրանիտի բաղադրիչները պետք է դիմացկուն լինեն կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացներում օգտագործվող սովորական քիմիական նյութերի նկատմամբ, ինչպիսիք են թթուները և ալկալիները:
Եզրափակելով, կիսահաղորդչային սարքավորումներում օգտագործվող գրանիտե բաղադրամասերի ստանդարտներն ու բնութագրերը շատ կարևոր են, որպեսզի ապահովեն ինչպես բաղադրիչների, այնպես էլ սարքավորումների երկարակեցությունը և հուսալիությունը: Վերոհիշյալ ուղեցույցները պետք է խստորեն պահպանվեն նախագծման, պատրաստման և տեղադրման ժամանակ: գործընթացներ, որոնք ապահովում են բաղադրիչների ամենաբարձր որակը:Հետևելով այս ստանդարտներին և բնութագրերին՝ կիսահաղորդչային արտադրողները կարող են ապահովել, որ իրենց սարքավորումների արդյունավետությունը մնա օպտիմալ՝ հանգեցնելով արտադրողականության և եկամտաբերության բարձրացման:
Հրապարակման ժամանակը՝ Մար-20-2024