Գրանիտը տարիներ շարունակ լայնորեն օգտագործվել է կիսահաղորդչային սարքավորումների արտադրության և նախագծման մեջ: Սա պայմանավորված է իր գերազանց հատկություններով, որոնք այն դարձնում են իդեալական նյութ բազմաթիվ կիրառությունների համար: Գրանիտը բարձր դիմացկուն է մաշվածության, կոռոզիայի և ջերմային ցնցումների նկատմամբ, ինչը այն հարմար է դարձնում կոշտ միջավայրերում օգտագործելու համար: Այս հոդվածում մենք կքննարկենք գրանիտի որոշ տարածված կիրառություններ կիսահաղորդչային սարքավորումներում:
1. Չափագիտության սարքավորումներ
Չափագիտական սարքավորումները օգտագործվում են կիսահաղորդչային սարքերի չափերն ու հատկությունները չափելու համար: Գրանիտը հաճախ օգտագործվում է որպես հիմք նման սարքավորումների համար՝ իր բարձր չափային կայունության շնորհիվ: Գրանիտի մակերեսի հարթությունն ու ճշգրտությունը իդեալական հենարան են հանդիսանում ճշգրիտ չափումների համար: Բացի այդ, գրանիտի ջերմային կայունությունը նվազեցնում է ջերմաստիճանի տատանումների պատճառով չափային փոփոխությունների ռիսկը:
2. Օպտիկական սարքավորումներ
Գրանիտը նաև օգտագործվում է օպտիկական սարքավորումներում, ինչպիսիք են լիտոգրաֆիկ մեքենաները, որոնք օգտագործվում են կիսահաղորդչային սարքերի արտադրության մեջ: Գրանիտե հիմքը կայուն հարթակ է ապահովում այդ մեքենաներում օգտագործվող բարձր ճշգրտության օպտիկայի համար: Գրանիտի գերազանց թրթռումը մարող հատկությունները նաև օգնում են նվազեցնել թրթռումները, որոնք կարող են ազդել օպտիկայի աշխատանքի և ճշգրտության վրա:
3. Վաֆլի մշակման սարքավորումներ
Կիսահաղորդչային վաֆլիների մշակումը ներառում է մի քանի քայլ, այդ թվում՝ մաքրում, փորագրում և նստեցում: Գրանիտն օգտագործվում է վաֆլիների մշակման սարքավորումների մի քանի բաղադրիչներում: Օրինակ, գրանիտն օգտագործվում է որպես հիմք քիմիական գոլորշու նստեցման (CVD) սարքավորումների համար, որոնք օգտագործվում են բարակ թաղանթներ սիլիցիումային վաֆլիների վրա նստեցնելու համար: Գրանիտն օգտագործվում է նաև փորագրման խցիկների և այլ տեխնոլոգիական տարաների կառուցման մեջ, որտեղ դրա գերազանց քիմիական դիմադրությունը և չափսերի կայունությունը կարևոր են:
4. Փորձարկման սարքավորումներ
Փորձարկման սարքավորումները օգտագործվում են կիսահաղորդչային սարքերի աշխատանքը և որակը ստուգելու համար: Գրանիտը հաճախ օգտագործվում է որպես փորձարկման սարքավորումների հիմք՝ իր բարձր կոշտության և կայունության շնորհիվ: Գրանիտը ապահովում է ոչ մագնիսական և ոչ հաղորդիչ հարթակ, որը վերացնում է զգայուն փորձարկման սարքավորումների հետ կապված միջամտությունը: Գրանիտի մակերեսի հարթությունն ու ճշգրտությունը թույլ են տալիս ստանալ բարձր ճշգրտությամբ փորձարկման արդյունքներ:
Եզրակացություն
Ամփոփելով՝ գրանիտը կարևոր նյութ է կիսահաղորդչային սարքավորումների նախագծման և արտադրության մեջ: Դրա գերազանց հատկությունները, ներառյալ չափային կայունությունը, ջերմային կայունությունը, քիմիական դիմադրությունը և թրթռումների մեղմացումը, այն դարձնում են իդեալական նյութ բազմաթիվ կիրառությունների համար: Գրանիտն օգտագործվում է կիսահաղորդչային սարքավորումների մի շարք կարևոր բաղադրիչներում, ներառյալ չափագիտական սարքավորումները, օպտիկական սարքավորումները, թիթեղների մշակման սարքավորումները և փորձարկման սարքավորումները: Քանի որ ավելի արագ, փոքր և ավելի հզոր կիսահաղորդչային սարքերի պահանջարկը շարունակում է աճել, գրանիտի օգտագործումը կիսահաղորդչային սարքավորումներում, հավանաբար, կմնա անհրաժեշտ:
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլ-08-2024