Գրանիտը երկար տարիներ լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդչային սարքավորումների արտադրության և նախագծման մեջ:Դա պայմանավորված է նրա գերազանց հատկություններով, որոնք այն դարձնում են իդեալական նյութ բազմաթիվ կիրառությունների համար:Գրանիտը բարձր դիմացկուն է մաշվածության, կոռոզիայի և ջերմային ցնցումների նկատմամբ, ինչը հարմար է դարձնում այն կոշտ միջավայրում օգտագործելու համար:Այս հոդվածում մենք կքննարկենք գրանիտի որոշ ընդհանուր կիրառություններ կիսահաղորդչային սարքավորումներում:
1. Չափագիտության սարքավորումներ
Չափագիտության սարքավորումները օգտագործվում են կիսահաղորդչային սարքերի չափերն ու հատկությունները չափելու համար:Գրանիտը հաճախ օգտագործվում է որպես հիմք նման սարքավորումների համար՝ շնորհիվ իր բարձր ծավալային կայունության:Գրանիտե մակերեսի հարթությունն ու ճշգրտությունը ճշգրիտ չափումների համար իդեալական հղում են ապահովում:Բացի այդ, գրանիտի ջերմային կայունությունը նվազեցնում է չափերի փոփոխությունների ռիսկը ջերմաստիճանի տատանումների պատճառով:
2. Օպտիկական սարքավորումներ
Գրանիտը նաև օգտագործվում է օպտիկական սարքավորումներում, ինչպիսիք են լիտոգրաֆիկ մեքենաները, որոնք օգտագործվում են կիսահաղորդչային սարքերի արտադրության մեջ:Գրանիտե բազան ապահովում է կայուն հարթակ այս մեքենաներում օգտագործվող բարձր ճշգրտության օպտիկայի համար:Գրանիտի թրթռումը խոնավացնող հիանալի հատկությունները նաև օգնում են նվազեցնել թրթռումները, որոնք կարող են ազդել օպտիկայի աշխատանքի և ճշգրտության վրա:
3. Վաֆլի մշակման սարքավորում
Կիսահաղորդչային վաֆլի մշակումը ներառում է մի քանի փուլ, ներառյալ մաքրումը, փորագրումը և նստեցումը:Գրանիտը օգտագործվում է վաֆլի վերամշակման սարքավորումների մի քանի բաղադրիչներում:Օրինակ, գրանիտը օգտագործվում է որպես քիմիական գոլորշիների նստեցման (CVD) սարքավորումների հիմք, որն օգտագործվում է բարակ թաղանթները սիլիկոնային վաֆլիների վրա տեղադրելու համար:Գրանիտը նաև օգտագործվում է փորագրման խցիկների և այլ տեխնոլոգիական անոթների կառուցման մեջ, որտեղ դրա հիանալի քիմիական դիմադրությունը և չափերի կայունությունը կարևոր են:
4. Փորձարկման սարքավորում
Փորձարկման սարքավորումները օգտագործվում են կիսահաղորդչային սարքերի աշխատանքը և որակը ստուգելու համար:Գրանիտը հաճախ օգտագործվում է որպես փորձարկման սարքավորումների հիմք՝ շնորհիվ իր բարձր կոշտության և կայունության:Գրանիտը ապահովում է ոչ մագնիսական և ոչ հաղորդիչ հարթակ, որը վերացնում է զգայուն փորձարկման սարքավորումների միջամտությունը:Գրանիտե մակերեսի հարթությունն ու ճշգրտությունը թույլ են տալիս բարձր ճշգրիտ փորձարկման արդյունքներ:
Եզրակացություն
Եզրափակելով, գրանիտը կարևոր նյութ է կիսահաղորդչային սարքավորումների նախագծման և արտադրության մեջ:Նրա գերազանց հատկությունները, ներառյալ ծավալային կայունությունը, ջերմային կայունությունը, քիմիական դիմադրությունը և թրթռումային խոնավացումը, այն դարձնում են իդեալական նյութ բազմաթիվ կիրառությունների համար:Գրանիտը օգտագործվում է կիսահաղորդչային սարքավորումների մի քանի կարևոր բաղադրիչներում, ներառյալ չափագիտական սարքավորումները, օպտիկական սարքավորումները, վաֆլի մշակման սարքավորումները և փորձարկման սարքավորումները:Քանի որ ավելի արագ, փոքր և հզոր կիսահաղորդչային սարքերի պահանջարկը շարունակում է աճել, կիսահաղորդչային սարքավորումներում գրանիտի օգտագործումը, հավանաբար, կարևոր կմնա:
Հրապարակման ժամանակը՝ ապրիլ-08-2024