Որո՞նք են կիսահաղորդչային սարքավորումների գրանիտե մասերի այլընտրանքային նյութերը: Որո՞նք են այս այլընտրանքային նյութերի առավելություններն ու թերությունները գրանիտի համեմատ:

Գրանիտը կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ լայնորեն օգտագործվող նյութ է եղել իր գերազանց մեխանիկական հատկությունների, ջերմային կայունության և ջերմային ընդարձակման ցածր գործակցի շնորհիվ: Այնուամենայնիվ, ավելի բարձր ճշգրտության և արտադրողականության անընդհատ աճող պահանջարկի պայմաններում, կիսահաղորդչային սարքավորումների բաղադրիչների արտադրության համար կենսունակ տարբերակներ են ի հայտ եկել այլընտրանքային նյութեր: Այս հոդվածում մենք կուսումնասիրենք կիսահաղորդչային սարքավորումներում գրանիտե մասերի համար նախատեսված որոշ այլընտրանքային նյութեր և կհամեմատենք դրանց առավելություններն ու թերությունները:

Գրանիտե մասերի այլընտրանքային նյութեր

1. Ապակե-կերամիկական նյութեր

Ապակե-կերամիկական նյութերը, ինչպիսիք են Zerodur-ը և Cervit-ը, լայնորեն կիրառվել են կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ՝ իրենց ցածր ջերմային ընդարձակման գործակցի շնորհիվ, որը մոտ է սիլիցիումի գործակցին։ Հետևաբար, այս նյութերը կարող են ապահովել ավելի լավ ջերմային կայունություն և բարձրացված ճշգրտություն կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացում։ Մասնավորապես, Zerodur-ը ունի բարձր աստիճանի միատարրություն և կայունություն, ինչը այն հարմար է դարձնում լիտոգրաֆիկ սարքավորումների արտադրության համար։

Առավելություններ՝

- Ջերմային ընդարձակման ցածր գործակից
- Բարձր ճշգրտություն և կայունություն
- Հարմար է բարձր ջերմաստիճանային կիրառությունների համար

Թերություններ՝

- Ավելի բարձր գին գրանիտի համեմատ
- Համեմատաբար փխրուն է, կարող է դժվարություններ առաջացնել մեքենայացման և մշակման ժամանակ

2. Կերամիկա

Կերամիկական նյութերը, ինչպիսիք են ալյումինի օքսիդը (Al2O3), սիլիցիումի կարբիդը (SiC) և սիլիցիումի նիտրիդը (Si3N4), ունեն գերազանց մեխանիկական հատկություններ, բարձր ջերմաստիճանային դիմադրություն և ցածր ջերմային ընդարձակման գործակից։ Այս հատկությունները կերամիկան դարձնում են իդեալական կիսահաղորդչային սարքավորումների այն մասերի համար, որոնք պահանջում են բարձր ջերմային կայունություն և ճշգրտություն, ինչպիսիք են վաֆլիի փուլերը և սեղմակները։

Առավելություններ՝

- Բարձր ջերմային կայունություն և ամրություն
- Ջերմային ընդարձակման ցածր գործակից
- Բարձր մաշվածության դիմադրություն և քիմիական իներտություն

Թերություններ՝

- Կարող է լինել փխրուն և հակված ճաքերի առաջացման, հատկապես մեքենայական մշակման և մշակման ժամանակ
- Կերամիկայի մեքենայական մշակումը և հղկումը կարող է լինել մարտահրավերային և ժամանակատար

3. Մետաղներ

Մետաղական հիմքով նյութերը, ինչպիսիք են չժանգոտվող պողպատը և տիտանը, օգտագործվել են որոշ կիսահաղորդչային սարքավորումների մասերի համար՝ իրենց գերազանց մեքենայական մշակման և բարձր ամրության շնորհիվ: Դրանք սովորաբար օգտագործվում են այն դեպքերում, երբ բարձր ջերմային կայունություն չի պահանջվում, ինչպիսիք են խցիկի մասերը, միացումները և անցուղիները:

Առավելություններ՝

- Լավ մեքենայականություն և եռակցման ունակություն
- Բարձր ամրություն և ճկունություն
- Ցածր գին որոշ այլընտրանքային նյութերի համեմատ

Թերություններ՝

- Բարձր ջերմային ընդարձակման գործակից
- Հարմար չէ բարձր ջերմաստիճաններում կիրառման համար՝ ջերմային ընդարձակման խնդիրների պատճառով
- Հակազդեցիկ է կոռոզիայի և աղտոտման նկատմամբ

Եզրակացություն.

Ամփոփելով՝ չնայած գրանիտը կիսահաղորդչային սարքավորումների մասերի համար տարածված ընտրություն է եղել, ի հայտ են եկել այլընտրանքային նյութեր, որոնցից յուրաքանչյուրն ունի իր յուրահատուկ առավելություններն ու թերությունները: Ապակե-կերամիկական նյութերը բարձր ճշգրտությամբ և կայուն են, բայց կարող են լինել փխրուն: Կերամիկան ամուր է և ունի գերազանց ջերմային կայունություն, բայց կարող է նաև լինել փխրուն, ինչը դրանց արտադրությունն ավելի դժվար է դարձնում: Մետաղները էժան են, մեքենայական և ճկուն, բայց դրանք ունեն ջերմային ընդարձակման ավելի բարձր գործակից և ենթակա են կոռոզիայի և աղտոտման: Կիսահաղորդչային սարքավորումների համար նյութեր ընտրելիս կարևոր է հաշվի առնել կիրառման կոնկրետ պահանջները և ընտրել նյութեր, որոնք հավասարակշռում են արժեքը, կատարողականությունը և հուսալիությունը: