Որո՞նք են կիսահաղորդչային սարքավորումների գրանիտե մասերի այլընտրանքային նյութերը:Որո՞նք են այս այլընտրանքային նյութերի առավելություններն ու թերությունները գրանիտի համեմատ:

Գրանիտը կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ սովորաբար օգտագործվող նյութ է եղել իր գերազանց մեխանիկական հատկությունների, ջերմային կայունության և ջերմային ընդարձակման ցածր գործակցի համար:Այնուամենայնիվ, ավելի բարձր ճշգրտության և արտադրողականության անընդհատ աճող պահանջարկի հետ միասին այլընտրանքային նյութերը հայտնվել են որպես կիսահաղորդչային սարքավորումների բաղադրիչների արտադրության կենսունակ տարբերակներ:Այս հոդվածում մենք կուսումնասիրենք կիսահաղորդչային սարքավորումների գրանիտե մասերի որոշ այլընտրանքային նյութեր և կհամեմատենք դրանց առավելություններն ու թերությունները:

Այլընտրանքային նյութեր գրանիտե մասերի համար

1. Ապակի-կերամիկական նյութեր

Ապակե-կերամիկական նյութերը, ինչպիսիք են Zerodur-ը և Cervit-ը, լայն կիրառություն են գտել կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ՝ շնորհիվ իրենց ցածր ջերմային ընդարձակման գործակցի, որը մոտ է սիլիցիումին:Հետևաբար, այս նյութերը կարող են ապահովել ավելի լավ ջերմային կայունություն և բարձր ճշգրտություն կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում:Զերոդուրը, մասնավորապես, ունի միատարրության և կայունության բարձր աստիճան, ինչը այն դարձնում է պիտանի լիտոգրաֆիայի սարքավորումների արտադրության համար:

Առավելությունները:

- Ջերմային ընդարձակման ցածր գործակից
- Բարձր ճշգրտություն և կայունություն
- Հարմար է բարձր ջերմաստիճանի ծրագրերի համար

Թերությունները:

- Գրանիտի համեմատ ավելի բարձր արժեք
- Համեմատաբար փխրուն է, կարող է դժվարություններ առաջացնել հաստոցների և մշակման մեջ

2. Կերամիկա

Կերամիկական նյութերը, ինչպիսիք են ալյումինի օքսիդը (Al2O3), սիլիցիումի կարբիդը (SiC) և սիլիցիումի նիտրիդը (Si3N4), ունեն գերազանց մեխանիկական հատկություններ, բարձր ջերմաստիճանի դիմադրություն և ցածր ջերմային ընդարձակման գործակից:Այս հատկությունները դարձնում են կերամիկան իդեալական կիսահաղորդչային սարքավորումների մասերի համար, որոնք պահանջում են բարձր ջերմային կայունություն և ճշգրտություն, ինչպիսիք են վաֆլի փուլերը և ցատկերը:

Առավելությունները:

- Բարձր ջերմային կայունություն և ուժ
- Ցածր ջերմային ընդարձակման գործակից
- Բարձր մաշվածության դիմադրություն և քիմիական իներտություն

Թերությունները:

- Կարող է լինել փխրուն և հակված ճաքերի, հատկապես հաստոցների և մշակման ժամանակ
- Կերամիկայի մշակումն ու փայլեցումը կարող է լինել դժվար և ժամանակատար

3. Մետաղներ

Մետաղների վրա հիմնված նյութեր, ինչպիսիք են չժանգոտվող պողպատը և տիտանը, օգտագործվել են կիսահաղորդչային սարքավորումների որոշ մասերի համար՝ շնորհիվ իրենց գերազանց մշակման և բարձր ամրության:Նրանք սովորաբար օգտագործվում են այնպիսի ծրագրերում, որտեղ բարձր ջերմային կայունություն չի պահանջվում, ինչպիսիք են խցիկի մասերը, կցորդիչները և հոսքագծերը:

Առավելությունները:

- Լավ մշակելիություն և եռակցման ունակություն
- Բարձր ամրություն և ճկունություն
- Ցածր արժեքը որոշ այլընտրանքային նյութերի համեմատ

Թերությունները:

- Բարձր ջերմային ընդարձակման գործակից
- Հարմար չէ բարձր ջերմաստիճանի կիրառման համար՝ ջերմային ընդլայնման խնդիրների պատճառով
- ենթակա է կոռոզիայի և աղտոտման

Եզրակացություն:

Ամփոփելով, թեև գրանիտը կիսահաղորդչային սարքավորումների մասերի հանրաճանաչ ընտրություն է եղել, ի հայտ են եկել այլընտրանքային նյութեր, որոնցից յուրաքանչյուրն ունի յուրահատուկ առավելություններ և թերություններ:Ապակի-կերամիկական նյութերը շատ ճշգրիտ և կայուն են, բայց կարող են փխրուն լինել:Կերամիկան ամուր է և ունի գերազանց ջերմային կայունություն, բայց կարող է նաև փխրուն լինել, ինչը նրանց արտադրությունն ավելի դժվար է դարձնում:Մետաղները էժան են, մշակման ենթակա և ճկուն, սակայն ունեն ջերմային ընդարձակման ավելի բարձր գործակից և ենթակա են կոռոզիայի և աղտոտման:Կիսահաղորդչային սարքավորումների համար նյութեր ընտրելիս կարևոր է հաշվի առնել կիրառման հատուկ պահանջները և ընտրել նյութեր, որոնք հավասարակշռում են արժեքը, կատարումը և հուսալիությունը: