Granite- ը կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ սովորաբար օգտագործվել է կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ `իր գերազանց մեխանիկական հատկությունների, ջերմային կայունության եւ ջերմային ընդլայնման ցածր գործակիցի համար: Այնուամենայնիվ, ավելի բարձր ճշգրտության եւ արտադրողականության անընդհատ աճող պահանջարկով, այլընտրանքային նյութերը հայտնվել են որպես կիսահաղորդչային սարքավորումների բաղադրիչների կեղծիքների կենսունակ տարբերակներ: Այս հոդվածում մենք կքննարկենք մի քանի այլընտրանքային նյութեր գրանիտային մասերի համար կիսահաղորդչային սարքավորումների մեջ եւ համեմատել դրանց առավելություններն ու թերությունները:
Այլընտրանքային նյութեր գրանիտային մասերի համար
1: Ապակի-կերամիկական նյութեր
Ապակե-կերամիկական նյութեր, ինչպիսիք են Zerodur- ը եւ Cervit- ը, տարածված են օգտագործել կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ `ջերմային ընդլայնման ցածր գործակիցի պատճառով, որը մոտ է սիլիկոնին: Հետեւաբար, այս նյութերը կարող են ավելի լավ ջերմային կայունություն ապահովել եւ ճշգրտում են կիսահաղորդչային կեղծման գործընթացում: Զերոդուրը, մասնավորապես, ունի համասեռության եւ կայունության բարձր աստիճան, այն հարմար դարձնելով վիմագրական սարքավորումների արտադրության համար:
Առավելություններ.
- ջերմային ընդլայնման ցածր գործակից
- բարձր ճշգրտություն եւ կայունություն
- Հարմար է բարձր ջերմաստիճանի ծրագրերի համար
Թերությունները.
- գրանիտի համեմատ ավելի բարձր գին
- Համեմատաբար փխրուն, կարող է մարտահրավերներ առաջացնել մշակման եւ բեռնաթափման մեջ
2. Կերամիկա
Կերամիկական նյութեր, ինչպիսիք են ալյումինե օքսիդ (AL2O3), սիլիկոնային կարբիդ (SIC) եւ Silicon Nitride (SI3N4), ունեն գերազանց մեխանիկական հատկություններ, բարձր ջերմաստիճանի դիմադրություն եւ ջերմային ընդլայնման գործակից: Այս հատկությունները կերամիկա են պատրաստում կիսահաղորդչային սարքավորումների մասերի համար, որոնք պահանջում են բարձր ջերմային կայունություն եւ ճշգրտություն, ինչպիսիք են վաֆլի բեմերը եւ Chucks- ը:
Առավելություններ.
- բարձր ջերմային կայունություն եւ ուժ
- ցածր ջերմային ընդլայնման գործակից
- Բարձր հագած դիմադրություն եւ քիմիական անթիվություն
Թերությունները.
- Կարող է փխրուն լինել եւ հակված լինել ճեղքմանը, հատկապես ներմուծման եւ բեռնաթափման ընթացքում
- Կերամիկայի ներմուծումը եւ փայլեցումը կարող են լինել դժվար եւ ժամանակատար
3. Մետաղներ
Մետաղապաշտպանիչ նյութեր, ինչպիսիք են չժանգոտվող պողպատից եւ տիտանին, օգտագործվել են որոշ կիսահաղորդչային սարքավորումների մասերի համար `իրենց գերազանց մեքենայական եւ բարձր ամրության պատճառով: Դրանք սովորաբար օգտագործվում են դիմումներում, որտեղ պահանջվում է բարձր ջերմային կայունություն, ինչպիսիք են պալատի մասերը, միացումները եւ հետքերը:
Առավելություններ.
- Լավ մեքենա եւ զոդում
- Բարձր ուժ եւ ճկունություն
- ցածր գին `համեմատած այլընտրանքային նյութերի հետ
Թերությունները.
- բարձր ջերմային ընդլայնման գործակից
- Հարմար չէ ջերմաստիճանի բարձր ջերմաստիճանի ծրագրերի համար ջերմային ընդլայնման խնդիրների պատճառով
- ենթակա է կոռոզիայից եւ աղտոտմանը
Եզրակացություն.
Ամփոփելով, մինչդեռ գրանիտը հանրաճանաչ ընտրություն է եղել կիսահաղորդչային սարքավորումների մասերի համար, ի հայտ են եկել այլընտրանքային նյութեր, որոնցից յուրաքանչյուրը `եզակի առավելություններ եւ թերություններ: Ապակե-կերամիկական նյութերը խիստ ճշգրիտ եւ կայուն են, բայց կարող են փխրուն լինել: Կերամիկան ուժեղ է եւ ունի գերազանց ջերմային կայունություն, բայց կարող է նաեւ փխրուն լինել, դրանք դարձնելով ավելի դժվար արտադրություն: Մետաղները էժան են, մեքենայական եւ ճկուն, բայց դրանք ունեն ջերմային ընդլայնման ավելի բարձր գործակից եւ ենթակա են կոռոզիայից եւ աղտոտմանը: Կիսահաղորդչային սարքավորումների համար նյութեր ընտրելիս շատ կարեւոր է հաշվի առնել դիմումի հատուկ պահանջները եւ ընտրել նյութեր, որոնք հավասարակշռում են արժեքը, կատարումը եւ հուսալիությունը:
Փոստի ժամանակը, Mar-19-2024