Կիսահաղորդիչների արտադրության ոլորտում ավտոմատ օպտիկական ստուգման (AOI) սարքավորումները կարևոր դեր են խաղում չիպերի որակի ապահովման գործում: Նույնիսկ դրանց հայտնաբերման ճշգրտության աննշան բարելավումը կարող է հսկայական վերափոխում առաջացնել ամբողջ արդյունաբերության մեջ: Սարքավորումների բազան, որպես հիմնական բաղադրիչ, խոր ազդեցություն ունի հայտնաբերման ճշգրտության վրա: Վերջին տարիներին արդյունաբերությունը հեղափոխություն է ապրել հիմնական նյութերի ոլորտում: Գրանիտը, իր ակնառու թրթռումների մարման արդյունավետությամբ, աստիճանաբար փոխարինել է ավանդական թուջե նյութերին և դարձել AOI ստուգման սարքավորումների նոր սիրելին: Դրա թրթռումների մարման արդյունավետությունը թուջե նյութերի համեմատ աճել է 92%-ով: Ի՞նչ տեխնոլոգիական առաջընթացներ և արդյունաբերության փոփոխություններ են թաքնված այս տվյալների հետևում:
Կիսահաղորդչային AOI ստուգման սարքավորումների թրթռման խիստ պահանջները
Կիսահաղորդչային չիպերի արտադրության գործընթացը մտել է նանոմասշտաբի դարաշրջան: AOI ստուգման գործընթացի ընթացքում նույնիսկ չափազանց փոքր տատանումները կարող են շեղումներ առաջացնել ստուգման արդյունքներում: Չիպի մակերեսի վրա մանր քերծվածքները, խոռոչները և այլ թերությունները հաճախ միկրոմետրային կամ նույնիսկ նանոմետրային մակարդակում են: Դետեկտորային սարքավորումների օպտիկական ոսպնյակները պետք է որոնեն այս մանրամասները չափազանց բարձր ճշգրտությամբ: Հիմքի կողմից փոխանցվող ցանկացած տատանում կհանգեցնի ոսպնյակի տեղաշարժին կամ դողալուն, ինչը կհանգեցնի պատկերի մշուշոտ ստացմանը և դրանով իսկ կազդի թերությունների ճանաչման ճշգրտության վրա:
Թուջե նյութերը մի ժամանակ լայնորեն օգտագործվում էին AOI ստուգման սարքավորումների հիմքերում, քանի որ դրանք ունեն որոշակի ամրություն և մշակման կատարողականություն, իսկ գինը համեմատաբար ցածր է։ Այնուամենայնիվ, թրթռումների ճնշման առումով, թուջն ունի ակնհայտ թերություններ։ Թուջեի ներքին կառուցվածքը պարունակում է մեծ քանակությամբ գրաֆիտային թերթեր, որոնք համարժեք են ներսում գտնվող փոքրիկ դատարկություններին և խաթարում են նյութի անընդհատությունը։ Երբ սարքավորումը գործում է և առաջացնում է թրթռում, կամ խանգարվում է արտաքին միջավայրի թրթռումներից, թրթռման էներգիան չի կարող արդյունավետորեն մեղմվել թուջում, այլ անընդհատ անդրադարձվում և վերադրվում է գրաֆիտային թերթի և մատրիցի միջև, ինչը հանգեցնում է թրթռման անընդհատ տարածմանը։ Համապատասխան փորձերը ցույց են տալիս, որ թուջե հիմքը արտաքին թրթռումներից գրգռվելուց հետո թրթռման մեղմացման ժամանակը կարող է տևել մի քանի վայրկյան, ինչը լուրջ ազդեցություն կունենա հայտնաբերման ճշգրտության վրա այս ժամանակահատվածում։ Բացի այդ, թուջեի առաձգականության մոդուլը համեմատաբար ցածր է։ Սարքավորման ձգողականության և թրթռման լարվածության երկարատև ազդեցության տակ այն հակված է դեֆորմացիայի, ինչը ավելի է ուժեղացնում թրթռման փոխանցումը։
Գրանիտային հիմքերի թրթռումների ճնշման արդյունավետության 92%-ով աճի գաղտնիքը
Գրանիտը, որպես բնական քարի տեսակ, հարյուր միլիոնավոր տարիների ընթացքում երկրաբանական գործընթացների միջոցով ձևավորել է չափազանց խիտ և միատարր ներքին կառուցվածք։ Այն հիմնականում կազմված է հանքային բյուրեղներից, ինչպիսիք են քվարցը և դաշտային սպաթը, որոնք սերտորեն միացված են, և բյուրեղների միջև քիմիական կապերը ամուր և կայուն են։ Այս կառուցվածքը գրանիտին օժտում է ցնցումների մարման բացառիկ ունակությամբ։ Երբ ցնցումը փոխանցվում է գրանիտային հիմքին, դրա ներսում գտնվող հանքային բյուրեղները կարող են արագորեն վերածել ցնցումների էներգիան ջերմային էներգիայի և ցրել այն։ Ուսումնասիրությունները ցույց են տալիս, որ գրանիտի մարումը մի քանի անգամ ավելի բարձր է, քան թուջիինը, ինչը նշանակում է, որ այն կարող է ավելի արդյունավետ կլանել ցնցումների էներգիան՝ նվազեցնելով ցնցումների ամպլիտուդը և տևողությունը։ Մասնագիտական փորձարկումներից հետո, նույն ցնցումների գրգռման պայմաններում, գրանիտային հիմքի ցնցումների մարման ժամանակը կազմում է թուջի ժամանակի ընդամենը 8%-ը, իսկ ցնցումների մարման արդյունավետությունը աճել է 92%-ով։
Գրանիտի բարձր կարծրությունը և բարձր առաձգականության մոդուլը նույնպես զգալիորեն նպաստում են դրան: Բարձր կարծրությունը ապահովում է, որ հիմքը պակաս դեֆորմացվի սարքավորումների ծանրությունը և արտաքին ուժերի ազդեցությունը կրելիս, և միշտ պահպանում է կայուն հենարանային վիճակ: Բարձր առաձգականության մոդուլը ապահովում է, որ հիմքը կարող է արագ վերադառնալ իր սկզբնական ձևին տատանումների ենթարկվելիս՝ նվազեցնելով տատանումների կուտակումը: Բացի այդ, գրանիտն ունի գերազանց ջերմային կայունություն և գրեթե չի ազդվում շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանի փոփոխություններից, խուսափելով ջերմաստիճանի տատանումներից առաջացող ջերմային ընդարձակման և կծկման դեֆորմացիայից, այդպիսով ապահովելով տատանումների ճնշման կայունությունը:
Արդյունաբերության վերափոխումը և գրանիտային հիմքերի կողմից ստեղծված հեռանկարները
Գրանիտե հիմքով AOI ստուգիչ սարքավորումները զգալիորեն բարելավել են իրենց հայտնաբերման ճշգրտությունը։ Այն կարող է հուսալիորեն հայտնաբերել փոքր չափի չիպերի թերությունները՝ նվազեցնելով սխալ գնահատման մակարդակը մինչև 1% և զգալիորեն բարձրացնելով չիպերի արտադրության արտադրողականությունը։ Միևնույն ժամանակ, սարքավորումների կայունությունը բարելավվել է, որի արդյունքում կրճատվել են թրթռումների պատճառով սպասարկման համար անջատումների քանակը, երկարացվել է սարքավորումների ծառայության ժամկետը և նվազեցվել են ընդհանուր շահագործման ծախսերը։
Հրապարակման ժամանակը. Մայիսի 14-2025