Բարձր ճշգրտության հիդրոստատիկ օդային լողացող շարժման հարթակի «անտեսանելի վահանը». գրանիտե բարձր ճշգրտության հիմքի խիստ բնապահպանական պահանջները։

Բարձրակարգ արտադրության և առաջատար գիտական ​​հետազոտությունների ոլորտներում, ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակը գերճշգրիտ աշխատանքի հասնելու հիմնական սարքավորումն է: Գրանիտե ճշգրիտ հիմքը հարթակի հիմնական կրող մասն է, և դրա աշխատանքը սերտորեն կապված է աշխատանքային միջավայրի հետ: Այս բնապահպանական պահանջների ըմբռնումը և բավարարումը կարող են ոչ միայն ապահովել հարթակի բարձր ճշգրտությամբ աշխատանքը, այլև կարևոր դեր խաղալ ձեռնարկության համար՝ բարձրացնելու դրա մրցունակությունը հարակից ոլորտներում, ինչը մանրամասն նկարագրված է ստորև:

1. Ջերմաստիճան. ճշգրիտ վերահսկողություն՝ չափային կայունությունն ապահովելու համար
Չնայած գրանիտը հայտնի է իր կայունությամբ, դրա ջերմային ընդարձակման գործակիցը զրոյական չէ, և ջերմաստիճանի փոքր փոփոխությունները կարող են ազդել դրա չափերի ճշգրտության վրա: Ընդհանուր առմամբ, գրանիտի ջերմային ընդարձակման գործակիցը 5-7 ×10⁻⁶/℃ է: Ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժական հարթակի կիրառման դեպքում այս փոքր փոփոխությունը ուժեղանում է հարթակի կողմից, ինչը կարող է հանգեցնել շարժման ճշգրտության շեղման: Օրինակ, կիսահաղորդչային չիպերի արտադրության գործընթացում, լիտոգրաֆիայի գործընթացի դիրքորոշման ճշգրտության պահանջների համար, դանամի մակարդակի, շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանի 1°C տատանման դեպքում, 1 մետր գրանիտե հիմքի կողմի երկարությունը կարող է առաջացնել 5-7 միկրոն գծային ընդարձակում կամ կծկում, ինչը բավարար է չիպի լիտոգրաֆիայի նախշի շեղման համար, ինչը նվազեցնում է արտադրողականությունը: Հետևաբար, գրանիտե ճշգրիտ հիմքով հագեցած ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող հարթակի համար իդեալական աշխատանքային միջավայրի ջերմաստիճանը պետք է խստորեն վերահսկվի 20°C ±1°C-ում, ձեռնարկությունները կարող են տեղադրել բարձր ճշգրտության հաստատուն ջերմաստիճանի օդորակման համակարգ, անընդհատ վերահսկել և ճշգրիտ կարգավորել շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանը, պահպանել գրանիտե հիմքի չափի կայունությունը՝ ապահովելու համար հարթակի բարձր ճշգրտության աշխատանքը:
2. խոնավություն. ողջամիտ վերահսկողություն, պաշտպանել բազային կատարողականը
Խոնավությունը նույնպես զգալի ազդեցություն ունի ճշգրիտ գրանիտե հիմքերի վրա: Բարձր խոնավության միջավայրում գրանիտը հեշտությամբ կլանում է ջրային գոլորշի, և մակերեսին կարող է խտացում առաջանալ, որը ոչ միայն կխանգարի օդային լողացող համակարգի բնականոն գործունեությանը, այլև կհանգեցնի գրանիտե մակերեսի երկարատև էրոզիայի՝ նվազեցնելով դրա ճշգրտությունը և ծառայության ժամկետը: Օրինակ՝ օպտիկական ոսպնյակների հղկման արհեստանոցը վերցնելով՝ եթե խոնավությունը երկար ժամանակ 60% հարաբերական խոնավությունից բարձր է, գրանիտե հիմքի մակերեսին ադսորբված ջրային գոլորշին կխաթարի օդային լողացող թաղանթի միատարրությունը, ինչը կհանգեցնի ոսպնյակների հղկման ճշգրտության նվազմանը և մակերեսային թերությունների: Հետևաբար, աշխատանքային միջավայրի հարաբերական խոնավությունը պետք է վերահսկվի 40%-60% հարաբերական խոնավության սահմաններում: Ձեռնարկությունները կարող են օգտագործել խոնավությունը չորացնող սարքեր, խոնավության սենսորներ և այլ սարքավորումներ՝ իրական ժամանակում խոնավությունը վերահսկելու և վերահսկելու, ճշգրիտ գրանիտե հիմքի համար համապատասխան խոնավության միջավայր ստեղծելու և ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակի կայուն աշխատանքն ապահովելու համար:

3. մաքրություն. խստորեն վերահսկել, վերացնել մասնիկների միջամտությունը
Փոշու մասնիկները ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակի «թշնամիներն» են և մեծ վնաս են հասցնում գրանիտե ճշգրիտ հիմքին: Երբ փոքրիկ մասնիկները մտնում են գազային թաղանթի միատարրությունը գազի լողացող սահիկի և գրանիտե հիմքի միջև, դրանք կարող են խաթարել գազային թաղանթի միատարրությունը, մեծացնել շփումը և նույնիսկ քերծել հիմքի մակերեսը՝ լրջորեն ազդելով հարթակի շարժման ճշգրտության վրա: Ավիատիեզերական մասերի գերճշգրիտ մեքենայացման արհեստանոցում, եթե օդում առկա փոշու մասնիկները ընկնում են գրանիտե հիմքի վրա, մեքենայական գործիքի շարժման հետագիծը կարող է շեղվել՝ ազդելով մասերի մեքենայացման ճշգրտության վրա: Հետևաբար, աշխատանքային տարածքը պետք է պահվի խիստ մաքուր և հասնի 10,000 կամ նույնիսկ ավելի բարձր մաքրության չափանիշի: Ձեռնարկությունները կարող են զտել օդում առկա փոշու մասնիկները՝ տեղադրելով բարձր արդյունավետության օդային ֆիլտրեր (HEPA) և պահանջելով, որ անձնակազմը կրի փոշուց զերծ հագուստ, կոշիկի ծածկոցներ և այլն՝ մարդկանց կողմից բերված փոշին նվազեցնելու և գրանիտե հիմքի և ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակի բարձր ճշգրտության աշխատանքային միջավայրը պահպանելու համար:
4. Թրթռում. Արդյունավետ մեկուսացում՝ հարթ տարածք ստեղծելու համար
Արտաքին թրթռումը լրջորեն կխանգարի ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող հարթակի ճշգրտությանը, չնայած ճշգրիտ գրանիտե հիմքն ունի որոշակի թրթռման մեղմացման ունակություն, բայց բարձր ամրության թրթռումը դեռ կարող է խախտել իր բուֆերային սահմանը: Գործարանի շուրջ երթևեկության և խոշոր մեխանիկական սարքավորումների աշխատանքի հետևանքով առաջացած թրթռումը գետնի միջոցով փոխանցվում է գրանիտե հիմքին, ինչը կխանգարի հարթակի շարժման ճշգրտությանը: Բարձրակարգ CMM-ում թրթռումը կարող է անկայուն դարձնել չափիչ զոնդի և չափվող աշխատանքային մասի միջև շփումը, ինչը կհանգեցնի չափման տվյալների շեղման: Այս խնդիրը լուծելու համար անհրաժեշտ է ձեռնարկել թրթռման մեկուսացման արդյունավետ միջոցառումներ, ինչպիսիք են սարքավորումների տեղադրման տարածքում թրթռման մեկուսացման բարձիկների տեղադրումը, թրթռման մեկուսացման հիմքի կառուցումը կամ ակտիվ թրթռման մեկուսացման համակարգի օգտագործումը՝ արտաքին թրթռումները ակտիվորեն չեզոքացնելու և գրանիտե ճշգրիտ հիմքի և ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակի համար հանգիստ և կայուն աշխատանքային միջավայր ստեղծելը:
Բավարարեք վերը նշված բնապահպանական պահանջները՝ գրանիտե ճշգրիտ բազայի առավելությունները ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակում լիարժեքորեն օգտագործելու համար, որպեսզի հարթակը ապահովի բարձր ճշգրտության և բարձր կայունության շարժման կառավարման ծառայություններ տարբեր ոլորտների համար: Եթե ձեռնարկությունները կարողանան ուշադրություն դարձնել այս մանրամասներին արտադրական միջավայրում, նրանք կօգտվեն ճշգրիտ արտադրության, գիտական ​​հետազոտությունների և այլ ոլորտներում առկա հնարավորություններից, կբարձրացնեն իրենց մրցունակությունը և կհասնեն կայուն զարգացման: