Գրանիտի բաղադրիչները լայնորեն օգտագործվել են կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում՝ շնորհիվ իրենց գերազանց բնութագրերի, ինչպիսիք են մակերեսի բարձրագույն ավարտը, բարձր կոշտությունը և գերազանց թրթռումային խոնավացումը:Գրանիտի բաղադրիչները կարևոր են կիսահաղորդչային արտադրական սարքավորումների համար, ներառյալ լիտոգրաֆիայի մեքենաները, փայլեցնող մեքենաները և չափագիտական համակարգերը, քանի որ դրանք ապահովում են ճշգրիտ դիրքավորում և կայունություն արտադրական գործընթացում:Չնայած գրանիտե բաղադրիչների օգտագործման բոլոր առավելություններին, դրանք նույնպես ունեն թերություններ:Այս հոդվածում մենք կքննարկենք կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացի արտադրանքի գրանիտե բաղադրիչների թերությունները:
Նախ, գրանիտե բաղադրիչներն ունեն ջերմային ընդլայնման բարձր գործակից:Դա նշանակում է, որ դրանք զգալիորեն ընդլայնվում են ջերմային սթրեսի պայմաններում, ինչը կարող է խնդիրներ առաջացնել արտադրության գործընթացում:Կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացը պահանջում է բարձր ճշգրտություն և չափերի ճշգրտություն, որը կարող է վտանգվել ջերմային սթրեսի պատճառով:Օրինակ, ջերմային ընդարձակման պատճառով սիլիցիումային վաֆլի դեֆորմացիան կարող է լիտոգրաֆիայի ընթացքում առաջացնել հավասարեցման խնդիրներ, ինչը կարող է վտանգել կիսահաղորդչային սարքի որակը:
Երկրորդ, գրանիտի բաղադրիչներն ունեն ծակոտկենության թերություններ, որոնք կարող են առաջացնել վակուումային արտահոսք կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում:Համակարգում օդի կամ որևէ այլ գազի առկայությունը կարող է աղտոտվածություն առաջացնել վաֆլի մակերեսի վրա՝ հանգեցնելով թերությունների, որոնք կարող են ազդել կիսահաղորդչային սարքի աշխատանքի վրա:Իներտ գազերը, ինչպիսիք են արգոնը և հելիումը, կարող են ներթափանցել ծակոտկեն գրանիտի բաղադրիչների մեջ և ստեղծել գազի պղպջակներ, որոնք կարող են խանգարել վակուումային գործընթացի ամբողջականությանը:
Երրորդ, գրանիտե բաղադրիչներն ունեն միկրոկոտրվածքներ, որոնք կարող են խանգարել արտադրական գործընթացի ճշգրտությանը:Գրանիտը փխրուն նյութ է, որը կարող է ժամանակի ընթացքում առաջացնել միկրոկոտրվածքներ, հատկապես, երբ ենթարկվում է մշտական սթրեսային ցիկլերի:Միկրոկոտրվածքների առկայությունը կարող է հանգեցնել չափերի անկայունության՝ առաջացնելով զգալի խնդիրներ արտադրական գործընթացում, ինչպիսիք են լիտոգրաֆիայի հավասարեցումը կամ վաֆլի փայլեցումը:
Չորրորդ, գրանիտե բաղադրիչներն ունեն սահմանափակ ճկունություն:Կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացը պահանջում է ճկուն սարքավորումներ, որոնք կարող են տեղավորել գործընթացի տարբեր փոփոխություններ:Այնուամենայնիվ, գրանիտի բաղադրիչները կոշտ են և չեն կարող հարմարվել գործընթացի տարբեր փոփոխություններին:Հետևաբար, արտադրական գործընթացի ցանկացած փոփոխություն պահանջում է գրանիտե բաղադրիչների հեռացում կամ փոխարինում, ինչը հանգեցնում է աշխատանքի դադարեցման և ազդելու արտադրողականության վրա:
Հինգերորդ, գրանիտե բաղադրիչները պահանջում են հատուկ բեռնաթափում և տեղափոխում՝ իրենց քաշի և փխրունության պատճառով:Գրանիտը խիտ և ծանր նյութ է, որը պահանջում է բեռնաթափման մասնագիտացված սարքավորումներ, ինչպիսիք են կռունկները և բարձրացնողները:Բացի այդ, գրանիտե բաղադրիչները պահանջում են զգույշ փաթեթավորում և տեղափոխում, որպեսզի կանխեն վնասը առաքման ժամանակ, ինչը կհանգեցնի լրացուցիչ ծախսերի և ժամանակի:
Եզրափակելով, գրանիտե բաղադրիչներն ունեն որոշ թերություններ, որոնք կարող են ազդել կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացի արտադրանքի որակի և արտադրողականության վրա:Այս թերությունները կարելի է նվազագույնի հասցնել գրանիտե բաղադրիչների մանրակրկիտ մշակման և պահպանման միջոցով, ներառյալ միկրոկոտրվածքների և ծակոտկենության թերությունների պարբերական ստուգումը, աղտոտումը կանխելու համար պատշաճ մաքրումը և փոխադրման ընթացքում զգույշ վարվելը:Չնայած թերություններին, գրանիտե բաղադրիչները մնում են կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացի կենսական մասը՝ շնորհիվ իրենց բարձր մակերեսային հարդարման, բարձր կոշտության և գերազանց թրթռումային խոնավացման:
Հրապարակման ժամանակը՝ Dec-05-2023