Գրանիտե բաղադրիչները լայնորեն օգտագործվել են կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում՝ իրենց գերազանց բնութագրերի շնորհիվ, ինչպիսիք են գերազանց մակերեսային մշակումը, բարձր կոշտությունը և գերազանց թրթռման մարումը: Գրանիտե բաղադրիչները կարևոր են կիսահաղորդիչների արտադրության սարքավորումների համար, ներառյալ լիտոգրաֆիկ մեքենաները, հղկող մեքենաները և չափագիտական համակարգերը, քանի որ դրանք ապահովում են ճշգրիտ դիրքավորում և կայունություն արտադրության գործընթացի ընթացքում: Գրանիտե բաղադրիչների օգտագործման բոլոր առավելություններից անկախ, դրանք նաև ունեն թերություններ: Այս հոդվածում մենք կքննարկենք գրանիտե բաղադրիչների թերությունները կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացի արտադրանքների համար:
Նախ, գրանիտե բաղադրիչներն ունեն բարձր ջերմային ընդարձակման գործակից։ Դա նշանակում է, որ դրանք զգալիորեն ընդարձակվում են ջերմային լարվածության տակ, ինչը կարող է խնդիրներ առաջացնել արտադրական գործընթացի ընթացքում։ Կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացը պահանջում է բարձր ճշգրտություն և չափերի ճշգրտություն, որը կարող է վտանգվել ջերմային լարվածության պատճառով։ Օրինակ, ջերմային ընդարձակման պատճառով սիլիցիումային թիթեղների դեֆորմացիան կարող է հավասարեցման խնդիրներ առաջացնել լիտոգրաֆիայի ընթացքում, ինչը կարող է վտանգել կիսահաղորդչային սարքի որակը։
Երկրորդ, գրանիտե բաղադրիչներն ունեն ծակոտկենության թերություններ, որոնք կարող են վակուումային արտահոսքեր առաջացնել կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացում: Համակարգում օդի կամ որևէ այլ գազի առկայությունը կարող է աղտոտում առաջացնել վաֆլիի մակերեսին, ինչը կարող է հանգեցնել թերությունների, որոնք կարող են ազդել կիսահաղորդչային սարքի աշխատանքի վրա: Արգոնի և հելիումի նման իներտ գազերը կարող են ներթափանցել ծակոտկեն գրանիտե բաղադրիչների մեջ և ստեղծել գազի փուչիկներ, որոնք կարող են խանգարել վակուումային գործընթացի ամբողջականությանը:
Երրորդ, գրանիտային բաղադրիչներն ունեն միկրոկոտրվածքներ, որոնք կարող են խանգարել արտադրական գործընթացի ճշգրտությանը: Գրանիտը փխրուն նյութ է, որը ժամանակի ընթացքում կարող է միկրոկոտրվածքներ առաջացնել, հատկապես, երբ ենթարկվում է անընդհատ լարվածության ցիկլերի: Միկրոկոտրվածքների առկայությունը կարող է հանգեցնել չափսերի անկայունության, ինչը կարող է զգալի խնդիրներ առաջացնել արտադրական գործընթացի ընթացքում, ինչպիսիք են լիտոգրաֆիկ հավասարեցումը կամ վաֆլիների հղկումը:
Չորրորդ, գրանիտե բաղադրիչները սահմանափակ ճկունություն ունեն: Կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացը պահանջում է ճկուն սարքավորումներ, որոնք կարող են հարմարվել տարբեր գործընթացային փոփոխությունների: Սակայն գրանիտե բաղադրիչները կոշտ են և չեն կարող հարմարվել տարբեր գործընթացային փոփոխություններին: Հետևաբար, արտադրական գործընթացում ցանկացած փոփոխություն պահանջում է գրանիտե բաղադրիչների հեռացում կամ փոխարինում, ինչը հանգեցնում է աշխատանքի դադարեցման և ազդում արտադրողականության վրա:
Հինգերորդ, գրանիտե բաղադրիչները պահանջում են հատուկ մշակում և տեղափոխում՝ իրենց քաշի և փխրունության պատճառով: Գրանիտը խիտ և ծանր նյութ է, որը պահանջում է մասնագիտացված մշակման սարքավորումներ, ինչպիսիք են կռունկները և բարձրացնող սարքերը: Բացի այդ, գրանիտե բաղադրիչները պահանջում են զգույշ փաթեթավորում և տեղափոխում՝ փոխադրման ընթացքում վնասներից խուսափելու համար, ինչը հանգեցնում է լրացուցիչ ծախսերի և ժամանակի:
Ամփոփելով՝ գրանիտե բաղադրիչներն ունեն որոշ թերություններ, որոնք կարող են ազդել կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացի արտադրանքի որակի և արտադրողականության վրա: Այս թերությունները կարելի է նվազագույնի հասցնել գրանիտե բաղադրիչների ուշադիր մշակման և պահպանման միջոցով, ներառյալ միկրոկոտրվածքների և ծակոտկենության թերությունների պարբերական ստուգումը, աղտոտումը կանխելու համար պատշաճ մաքրումը և տեղափոխման ընթացքում ուշադիր մշակումը: Չնայած թերություններին, գրանիտե բաղադրիչները շարունակում են մնալ կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացի կարևոր մասը՝ իրենց գերազանց մակերեսային մշակման, բարձր կոշտության և թրթռումների մարման գերազանց որակի շնորհիվ:
Հրապարակման ժամանակը. Դեկտեմբերի 05-2023