Գրանիտի կարևոր դերը կիսահաղորդչային ճշգրիտ փուլերում և առաջադեմ չափագիտության մեջ

Համաշխարհային կիսահաղորդչային արդյունաբերությունն այժմ զբաղված է «Անգստրեմի դարաշրջանի» անդադար հետապնդմամբ, որտեղ տրանզիստորների չափերը չափվում են ընդամենը մի քանի ատոմների լայնությամբ: Քանի որ լիտոգրաֆիան և ստուգիչ գործիքները անցնում են այս մանրադիտակային մասշտաբներին, կառուցվածքային կայունության պահանջարկը «մակրո»-ից տեղափոխվել է «նանո»: Այս հեղափոխության հիմքում ընկած է մի նյութ, որը նույնքան հին է, որքան Երկիրը՝ ճշգրիտ գրանիտը:

Մինչ շատերը գրանիտը համարում են պարզ քար, համատեքստումնանոտեղադրման փուլկամ բարձր արագությամբ վաֆլիների ստուգման համակարգ, դա բարդ ինժեներական կերամիկա է: Հիմնական չափագիտական ​​գործիքների և առաջադեմ շարժման հարթակների միջև տարբերությունը հասկանալը կարևոր է սիլիկոնային արտադրության մեջ հնարավորի սահմանները ընդլայնել ցանկացող սարքավորումների արտադրողների համար:

Գրանիտե CMM ընդդեմ գրանիտե մակերեսային թիթեղի. Ճարտարագիտական ​​​​շեղման ըմբռնում

Շատ որակի վերահսկման լաբորատորիաներում,Գրանիտե մակերեսային ափսեամենուրեք օգտագործվող հարմարանք է՝ հուսալի, հարթ հենարան ձեռքով չափման համար: Այնուամենայնիվ, կա տարածված սխալ կարծիք, որ մակերեսային սալը և գրանիտե CMM (կոորդինատների չափման մեքենա) հիմքը փոխարինելի են: Ինժեներական տեսանկյունից դրանք ներկայացնում են բարդության երկու տարբեր մակարդակներ:

Մակերեսային թիթեղը նախատեսված է ստատիկ կայունության համար: Դրա հիմնական գործառույթը անշարժ բեռի տակ հարթ մնալն է: Ի տարբերություն դրա, CMM-ի կամ ճշգրիտ աստիճանի գրանիտե հիմքը պետք է դիմանա դինամիկ բեռներին: Երբ CMM-ի կամուրջը շարժվում է կամ գծային շարժիչը արագացնում է վաֆլի աստիճանը մի քանի G-ով, գրանիտը պետք է դիմադրի ոչ միայն ծռմանը, այլև պտտմանը և հարմոնիկ ռեզոնանսին:

ZHHIMG ինժեներները «Սև գրանիտը» հատուկ ընտրում են դինամիկ կիրառությունների համար՝ դրա ավելի բարձր խտության և ավելի նուրբ հատիկավոր կառուցվածքի շնորհիվ: Մինչդեռ ստանդարտ մակերեսային թիթեղը կարող է օգտագործել ավելի ծակոտկեն տարբերակ, CMM հիմքը պահանջում է Յունգի հնարավոր ամենաբարձր մոդուլը՝ ապահովելու համար, որ բարձր արագությամբ շարժման «կտրուկ» շարժումը չվերածվի կառուցվածքային օղակաձևության, որը կփչացնի չափման տվյալները:

Կիսահաղորդչային արտադրության ճշգրիտ փուլերը. արդյունքաբերության հիմքը

Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ արտադրողականությունը և արտադրողականությունը երկու ամենակարևոր չափանիշներն են։ Երկուսն էլ ուղղակիորեն կախված են արտադրողականությունից։ճշգրիտ փուլերԱնկախ նրանից, թե դա DUV/EUV լիտոգրաֆիկ մեքենայի վաֆլիի փուլն է, թե ավտոմատացված օպտիկական ստուգման (AOI) գործիքի դիրքորոշման համակարգը, հիմքի նյութը պետք է նպաստի ենթանանոմետրային կրկնելիությանը։

Ֆաբրիկայի հիմնական խնդիրը ջերմությունն է: Գծային շարժիչներն ու ակտուատորները զգալի ջերմային էներգիա են առաջացնում: Եթե բեմի հիմքը պատրաստված լիներ ալյումինից կամ պողպատից, ապա ջերմային ընդարձակումը կհանգեցներ թիթեղի շեղմանը դասավորությունից, ինչը կհանգեցներ «ծածկույթի սխալների», որոնք կփչացնեն չիպերի ամբողջ խմբաքանակները:

Գրանիտի ջերմային ընդարձակման չափազանց ցածր գործակիցը (CTE) ապահովում է, որ նույնիսկ շարժիչների տաքացման դեպքում բեմի ֆիզիկական «քարտեզը» մնում է անփոփոխ: Ավելին, ZHHIMG-ն ապահովում է անհատականացված գրանիտե բաղադրիչներ՝ ինտեգրված օդային կրող ուղիներով: Քանի որ գրանիտը կարող է պատվել հայելու նման հարթության, այն ծառայում է որպես օդային կրողների համար կատարյալ հակադարձ դեմք, թույլ տալով բեմերին «լողալ» օդի բարակ թաղանթի վրա՝ զրոյական շփումով և զրոյական կպչունությամբ:

Նանոդիրքորոշման փուլի հիմքի ֆիզիկան

Երբ մենք մտնում ենք աշխարհի ոլորտ,նանոտեղադրման փուլ, մենք գործ ունենք մարդու մազի չափից 10,000 անգամ փոքր շարժումների հետ։ Այս մակարդակում թշնամին թրթռումն է։ Ստանդարտ արդյունաբերական հատակները անընդհատ թրթռում են HVAC համակարգերի, հետիոտնային երթևեկության և մոտակա մեքենաների պատճառով։

Գրանիտը գործում է որպես զանգվածային ցածր հաճախականության ֆիլտր: Իր բարձր զանգվածի և բարձր ներքին մարման շնորհիվ այն բնականաբար կլանում է բարձր հաճախականության տատանումները, նախքան դրանք կհասնեն զգայուն սենսորներին կամ հենց վաֆլիին: Այս «պասիվ մեկուսացումը» պատճառն է, որ աշխարհի առաջատար լիտոգրաֆիայի մատակարարները ապավինում են ZHHIMG-ին՝ իրենց վակուումային համատեղելի փուլերի համար ծանր, կայուն հիմքեր ապահովելու համար: Մեր գրանիտը հատուկ մշակվում է՝ զրոյական գազերի արտանետում ապահովելու համար, ինչը այն հարմար է դարձնում էլեկտրոնային ճառագայթային և EUV գործընթացների համար անհրաժեշտ բարձր վակուումային միջավայրերի համար:

Սահմանափակումների հաղթահարում. ZHHIMG-ի առավելությունը

Քարի հում բլոկից կիսահաղորդչային կարգի բաղադրիչի անցումը չափազանց համբերատարության ճանապարհ է: Մինչդեռ թվային թվային հղկման համակարգով հղկումը մեզ մոտեցնում է, վերջնական «գերճշգրիտ» որակը ձեռքով հղկման միջոցով է ստացվում: Սա մի գործընթաց է, որի ընթացքում ZHHIMG տեխնիկները օգտագործում են հղկող մածուկներ և ձեռքի շարժումներ՝ միաժամանակ միկրոնի մասնիկներ կտրելու համար:

Մինանոտեղադրման փուլ, հարթությունը միակ պահանջը չէ. ուղղորդող մակերեսների զուգահեռությունն ու ուղղահայացությունը նույնքան կարևոր են: Մեր կենտրոնը օգտագործում է լազերային հետևորդներ և էլեկտրոնային մակարդակներ՝ 0.1 աղեղն վայրկյան լուծաչափով՝ ստուգելու համար, որ յուրաքանչյուր առանցքը կատարյալ համընկնում է: Արհեստավարժության այս մակարդակը ապահովում է, որ երբ հաճախորդը տեղադրում է իր գծային շարժիչներն ու կոդավորիչները, մեխանիկական հիմքը հնարավորինս մոտ է «կատարյալին», որքան թույլ է տալիս ֆիզիկան:

Ապագայի համար պատրաստ լինելով ֆաբրին

Քանի որ արդյունաբերությունը շարժվում է դեպի 2 նմ և ավելի բարձր հանգույցներ, նյութի մաքրության և չափսերի կայունության պահանջները միայն կսրվեն: Գրանիտի ինտեգրումը այլ առաջադեմ նյութերի հետ, ինչպիսիք են ածխածնային մանրաթելային կամուրջները կամ կերամիկական վակուումային սեղմակները, շարժման կառավարման հաջորդ սահմանն է:

ZHHIMG-ը շարունակում է հանձնառու լինել ավելին, քան պարզապես մատակարար. մենք համագործակցող գործընկեր ենք կիսահաղորդչային համաշխարհային մատակարարման շղթայում: Ապահովելով ճշգրիտ փուլերի հաջորդ սերնդի համար անհրաժեշտ գերկայուն հիմքերը՝ մենք օգնում ենք կառուցել այն մեքենաները, որոնք կառուցում են ապագան: