Գրանիտե հիմքով միաառանցք օդային լողացող գերճշգրիտ շարժման մոդուլի կիրառման ոլորտը։

Կիսահաղորդչային արտադրություն. Չիպի արտադրության գործընթացում լուսավիտոգրաֆիայի գործընթացը պետք է ճշգրտորեն փոխանցի սխեմայի պատկերը վաֆլիին: Միաառանցք օդային լողացող գերճշգրիտ շարժման մոդուլի գրանիտե հիմքը կարող է ապահովել բարձր ճշգրտությամբ դիրքավորում և կայուն հենարան վաֆլիի սեղանի համար լիտոգրաֆիկ սարքավորումներում: Օրինակ, ASML-ը և այլ միջազգային ճանաչում ունեցող լիտոգրաֆիկ մեքենաների արտադրողները իրենց բարձրակարգ սարքավորումներում օգտագործում են գրանիտե հիմքով օդային լողացող շարժման մոդուլներ, որոնք կարող են վերահսկել վաֆլիի դիրքավորման ճշգրտությունը նանոմետրային մակարդակով՝ ապահովելու լիտոգրաֆիկ պատկերի ճշգրտությունը, դրանով իսկ բարելավելով չիպի ինտեգրումը և աշխատանքը:
Ճշգրիտ չափման դաշտ. CMM-ը արդյունաբերական արտադրության մեջ լայնորեն օգտագործվող ճշգրիտ չափման սարքավորում է, որն օգտագործվում է աշխատանքային մասի չափը, ձևը և դիրքի ճշգրտությունը չափելու համար: Գրանիտե հիմքի վրա գտնվող միաառանցք օդային լողացողի գերճշգրիտ շարժման մոդուլը կարող է օգտագործվել որպես CMM-ի շարժման հարթակ, որը կարող է իրականացնել բարձր ճշգրտության գծային շարժում և ապահովել չափիչ զոնդի կայուն շարժման հետագիծ: Օրինակ, Hexagon-ի բարձրակարգ CMM-ն օգտագործում է այս համադրությունը մեծ և բարդ մասերը չափելու համար՝ մինչև միկրոնային մակարդակի չափման ճշգրտությամբ, ապահովելով ավտոմոբիլային, ավիատիեզերական և այլ ոլորտներում մասերի որակի վերահսկողության ամուր երաշխիք:
Ավիատիեզերական ոլորտ. Ավիատիեզերական մասերի մշակման և փորձարկման ժամանակ անհրաժեշտ է բարձր ճշգրտություն: Օրինակ՝ ինքնաթիռի շարժիչի շեղբերի մշակումը պահանջում է գործիքի շարժման հետագծի ճշգրիտ կառավարում՝ շեղբի պրոֆիլի ճշգրտությունն ապահովելու համար: Միաառանցքային օդային լողացող գերճշգրիտ շարժման մոդուլի գրանիտե հիմքը կարող է կիրառվել հինգառանցքային մեքենայական կենտրոնի և այլ սարքավորումների վրա՝ գործիքի բարձր ճշգրտությամբ շարժման կառավարում ապահովելու և շեղբի մշակման ճշգրտությունը նախագծային պահանջներին համապատասխանեցնելու համար: Միաժամանակ, ավիաշարժիչի հավաքման գործընթացում անհրաժեշտ է նաև օգտագործել բարձր ճշգրտության չափիչ սարքավորումներ՝ մասերի հավաքման ճշգրտությունը հայտնաբերելու համար: Գրանիտե հիմքի օդային լողացող շարժման մոդուլը կարող է ապահովել չափիչ սարքավորումների կայուն հենարան և ճշգրիտ շարժում՝ հավաքման որակն ապահովելու համար:
Օպտիկական ստուգման ոլորտ. Օպտիկական բաղադրիչների արտադրության և փորձարկման գործընթացում անհրաժեշտ է կատարել օպտիկական բաղադրիչների բարձր ճշգրտությամբ դիրքավորում և չափում: Օրինակ, բարձր ճշգրտությամբ օպտիկական բաղադրիչներ, ինչպիսիք են հայելիները և ոսպնյակները, արտադրության ժամանակ անհրաժեշտ է օգտագործել ինտերֆերոմետրեր և այլ սարքավորումներ՝ մակերեսի ձևի ճշգրտությունը հայտնաբերելու համար: Միաառանցք օդային լողացող գերճշգրիտ շարժման մոդուլի գրանիտե հիմքը կարող է օգտագործվել որպես ինտերֆերոմետրի շարժման հարթակ, որը կարող է ապահովել ենթամիկրոնային դիրքավորման ճշգրտություն և ապահովել ճշգրիտ տվյալների աջակցություն օպտիկական բաղադրիչների հայտնաբերման համար: Բացի այդ, լազերային մշակման սարքավորումներում անհրաժեշտ է նաև օգտագործել բարձր ճշգրտությամբ շարժման հարթակ՝ լազերային ճառագայթի սկանավորման հետագիծը կառավարելու համար, օդային լողացող շարժման մոդուլի գրանիտե հիմքը կարող է բավարարել այս պահանջը՝ բարձր ճշգրտությամբ լազերային մշակում իրականացնելու համար: