Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ վաֆլիների ստուգումը չիպի որակն ու աշխատանքը ապահովելու հիմնական օղակն է, իսկ ստուգման աղյուսակի ճշգրտությունն ու կայունությունը որոշիչ դեր են խաղում հայտնաբերման արդյունքներում: Իր եզակի բնութագրերով գրանիտե հիմքը դառնում է կիսահաղորդչային վաֆլիների ստուգման աղյուսակի իդեալական ընտրություն, որը բազմաչափ վերլուծության մեջ ձեզ համար է:
Նախ, ճշգրտության երաշխիքի չափսը
1. Գերբարձր հարթություն և ուղիղություն. Գրանիտե հիմքը մշակվում է առաջադեմ մշակման տեխնոլոգիայով, և հարթությունը կարող է հասնել ±0.001 մմ/մ կամ նույնիսկ ավելի բարձր ճշգրտության, իսկ ուղիղությունը նույնպես գերազանց է: Վաֆլիի ստուգման գործընթացում բարձր ճշգրտության հարթությունը ապահովում է վաֆլիի կայուն հենարանը և ապահովում է ստուգիչ սարքավորումների զոնդի և վաֆլիի մակերեսին գտնվող եռակցման միացումների միջև ճշգրիտ շփումը:
2. Ջերմային ընդարձակման շատ ցածր գործակից. կիսահաղորդիչների արտադրությունը զգայուն է ջերմաստիճանի փոփոխությունների նկատմամբ, և գրանիտի ջերմային ընդարձակման գործակիցը չափազանց ցածր է, սովորաբար մոտ 5×10⁻⁶/℃: Երբ հայտնաբերման հարթակը աշխատում է, նույնիսկ եթե շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանը տատանվում է, գրանիտե հիմքի չափը շատ քիչ է փոխվում: Օրինակ, ամռանը բարձր ջերմաստիճանի արհեստանոցում մետաղական հիմքով հայտնաբերման հարթակի ջերմաստիճանը կարող է հանգեցնել վեֆերի և հայտնաբերման սարքավորումների հարաբերական դիրքի տեղաշարժի, ինչը ազդում է հայտնաբերման ճշգրտության վրա: Գրանիտե հիմքով հայտնաբերման հարթակը կարող է պահպանել կայունությունը, ապահովել վեֆերի և հայտնաբերման սարքավորումների հարաբերական դիրքի ճշգրտությունը հայտնաբերման գործընթացի ընթացքում և ապահովել կայուն միջավայր բարձր ճշգրտության հայտնաբերման համար:
Երկրորդ՝ կայունության չափանիշ
1. Կայուն կառուցվածք և թրթռման դիմադրություն. միլիոնավոր տարիների երկրաբանական գործընթացներից հետո գրանիտի ներքին կառուցվածքը խիտ և միատարր է: Կիսահաղորդչային գործարանի բարդ միջավայրում ծայրամասային սարքավորումների և շրջող անձնակազմի աշխատանքի հետևանքով առաջացող թրթռումը արդյունավետորեն մեղմվում է գրանիտե հիմքի կողմից:
2. Երկարատև օգտագործման ճշգրտություն. այլ նյութերի համեմատ, գրանիտն ունի բարձր կարծրություն, ուժեղ մաշվածության դիմադրություն, իսկ Մոհսի կարծրությունը կարող է հասնել 6-7-ի: Գրանիտի հիմքի մակերեսը հեշտությամբ չի մաշվում վաֆլիների հաճախակի բեռնման, բեռնաթափման և ստուգման գործողությունների ժամանակ: Տվյալների վիճակագրության իրական օգտագործման համաձայն, գրանիտի հիմքի փորձարկման սեղանի օգտագործումը, 5000 ժամից հետո անընդհատ շահագործումը, հարթության և ուղիղության ճշգրտությունը դեռևս կարող է պահպանվել սկզբնական ճշգրտության ավելի քան 98%-ի վրա, նվազեցնելով սարքավորումների մաշվածությունը կանոնավոր տրամաչափման և սպասարկման ժամանակներից, նվազեցնելով բիզնեսի շահագործման ծախսերը՝ ապահովելով փորձարկման աշխատանքների երկարաժամկետ կայունությունը:
Երրորդ՝ մաքուր և միջամտությունից պաշտպանված չափում
1. Փոշու ցածր առաջացում. կիսահաղորդիչների արտադրության միջավայրը պետք է լինի խիստ մաքուր, իսկ գրանիտե նյութն ինքնին կայուն է և հեշտությամբ չի առաջացնում փոշու մասնիկներ: Փորձարկման հարթակի շահագործման ընթացքում խուսափվում է հիմքից առաջացող փոշուց, որը կարող է աղտոտել վաֆլիները, և նվազում է փոշու մասնիկներից առաջացող կարճ միացման և բաց միացման ռիսկը: Փոշուց զերծ արհեստանոցի վաֆլիների ստուգման տարածքում գրանիտե հիմքի ստուգման սեղանի շուրջ փոշու կոնցենտրացիան միշտ վերահսկվում է ծայրահեղ ցածր մակարդակի վրա՝ համապատասխանելով կիսահաղորդչային արդյունաբերության խիստ մաքրության պահանջներին:
2. Մագնիսական միջամտություն չկա. հայտնաբերման սարքավորումները զգայուն են էլեկտրամագնիսական միջավայրի նկատմամբ, իսկ գրանիտը ոչ մագնիսական նյութ է, որը չի խանգարի հայտնաբերման սարքավորումների էլեկտրոնային ազդանշանին: Էլեկտրոնային ճառագայթային հայտնաբերման և այլ փորձարկման տեխնոլոգիաների կիրառման դեպքում, որոնք պահանջում են չափազանց բարձր էլեկտրամագնիսական միջավայր, գրանիտային հիմքը ապահովում է հայտնաբերման սարքավորումների էլեկտրոնային ազդանշանի կայուն փոխանցումը և ապահովում է փորձարկման արդյունքների ճշգրտությունը: Օրինակ, երբ վաֆլիի վրա փորձարկվում է բարձր ճշգրտության էլեկտրական կատարողականություն, ոչ մագնիսական գրանիտային հիմքը խուսափում է հայտնաբերման հոսանքի և լարման ազդանշանների միջամտությունից, որպեսզի հայտնաբերման տվյալները ճշգրիտ արտացոլեն վաֆլիի էլեկտրական բնութագրերը:
Հրապարակման ժամանակը. Մարտ-31-2025