Ճշգրիտ արտադրության և գիտական հետազոտությունների առաջնագծում գերճշգրիտ շարժման կառավարման պահանջարկը օրեցօր աճում է: Որպես բարձր ճշգրտության գծային շարժման հասնելու հիմնական սարքավորում, գերճշգրիտ միաառանցք օդային լողացող մոդուլի աշխատանքը անմիջականորեն ազդում է վերջնական արտադրանքի որակի և գիտական հետազոտությունների արդյունքների ճշգրտության վրա: Բազմաթիվ ազդող գործոնների շարքում գրանիտե հիմքի կիրառումը դրան տալիս է աննախադեպ առավելություն և դառնում է գերազանց ճշգրտություն ապահովելու հիմնական տարրը:
Գրանիտը, միլիոնավոր տարիների երկրաբանական փոփոխություններից հետո, ներքին կառուցվածքը չափազանց խիտ և միատարր է: Այն հիմնականում կազմված է քվարցից, դաշտային սպաթից և այլ հանքանյութերից, այս եզակի նյութական կազմը գրանիտին հաղորդում է գերազանց ֆիզիկական հատկություններ: Երբ օգտագործվում է որպես միառանցք օդային լողացող գերճշգրիտ շարժման մոդուլի հիմք, գրանիտն առաջին հերթին ցուցաբերում է չափազանց բարձր կայունություն: Համեմատած սովորական մետաղական նյութերի հիմքերի հետ, գրանիտային հիմքերը ցուցաբերում են ավելի ուժեղ դեֆորմացիայի դիմադրություն արտաքին միջավայրի խանգարումների, ինչպիսիք են ջերմաստիճանի տատանումները և մեխանիկական թրթռումները, դեմ: Էլեկտրոնային չիպերի արտադրության գործընթացում չիպերի լիտոգրաֆիայի դիրքորոշման ճշգրտությունը պետք է հասնի նանոմետրական մակարդակի: Արտադրական արտադրամասում մեծ սարքավորումների աշխատանքի և շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանի աննշան փոփոխությունների հետևանքով առաջացած թրթռումները կարող են ազդել լիտոգրաֆիկ սարքավորումների շարժման ճշգրտության վրա: Միառանցք օդային լողացող գերճշգրիտ շարժման մոդուլը գրանիտային հիմքով կարող է արդյունավետորեն մեղմացնել արտաքին թրթռումները և ավելի քան 80%-ով նվազեցնել շարժման մոդուլին փոխանցվող թրթռումների ամպլիտուդը: Միևնույն ժամանակ, ջերմային ընդարձակման չափազանց ցածր գործակիցը թույլ է տալիս, որ հիմքի չափը շատ քիչ փոխվի ջերմաստիճանի փոփոխության ժամանակ, ապահովելով, որ օդային լողացող շարժման մոդուլը կարողանա պահպանել կայուն շարժման ճշգրտությունը բարդ միջավայրում, ապահովելով չիպային լիտոգրաֆիայի համար ճշգրիտ դիրքավորման հիմք և զգալիորեն բարելավելով չիպային արտադրության արտադրողականությունը։
Բացի այդ, գրանիտը լավ մաշվածության դիմադրություն ունի: Գերճշգրիտ միառանցքային օդային լողացող մոդուլի հաճախակի փոխադարձ շարժման ընթացքում, չնայած օդային լողացող սահիկի և հիմքի միջև գազային թաղանթային հենարան կա, երկարատև օգտագործումը անխուսափելիորեն որոշակի աստիճանի շփում կառաջացնի: Գրանիտե հիմքը, իր բարձր կարծրության բնութագրերով, կարող է արդյունավետորեն դիմակայել այս շփման հետևանքով առաջացած մաշվածությանը և երկարացնել շարժման մոդուլի ծառայության ժամկետը: Համալսարանների գիտահետազոտական լաբորատորիաներում միկրոմասնիկների հայտնաբերման համար օգտագործվող փորձարարական սարքավորումները պահանջում են միառանցքային օդային լողացող գերճշգրիտ շարժման մոդուլ, որը երկար ժամանակ կայուն կերպով կաշխատի՝ մեծ քանակությամբ ճշգրիտ փորձարարական տվյալներ ստանալու համար: Գրանիտե հիմքի բարձր մաշվածության դիմադրությունը ապահովում է, որ շարժման մոդուլի ճշգրտությունը կարող է պահպանվել սկզբնական բարձր ճշգրտության մակարդակում երկարատև օգտագործումից հետո, ապահովելով գիտական հետազոտությունների աշխատանքի շարունակականության և ճշգրտության հուսալի երաշխիք և օգնելով հետազոտողներին խորը ուսումնասիրել մանրադիտակային աշխարհի գաղտնիքը:
Գրանիտե հիմքով միաառանցք օդային լողացող գերճշգրիտ շարժման մոդուլը ճշգրիտ արտադրության և գիտական հետազոտությունների համար ճշգրիտ «նավիգատորի» նման է: Գրանիտե հիմքը՝ իր գերազանց կայունությամբ, մաշվածության դիմադրողականությամբ, օդային լողացող շարժման մոդուլի բարձր ճշգրտության շարժման համար ապահովում է ամուր հենարան կիսահաղորդչային արտադրության, օպտիկական գործիքների արտադրության, բարձրակարգ գիտական հետազոտությունների և ոլորտի շատ այլ ճշգրիտ պահանջների մեջ, անփոխարինելի կարևոր դեր է խաղում՝ խթանելով արդյունաբերությունը դեպի ավելի բարձր ճշգրտություն և բարձր որակ:
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլ-07-2025