Ճշգրիտ արտադրության և գիտական հետազոտությունների առաջնագծում սխալի յուրաքանչյուր հետք կարող է դառնալ «խոչընդոտ», որը կանխում է առաջընթացը: Որպես բարձր ճշգրտությամբ շարժման կառավարման հասնելու հիմնական սարքավորում, ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակի աշխատանքը ուղղակիորեն կապված է արդյունքների որակի և հաջողության հետ: Բազմաթիվ ազդող գործոնների շարքում գրանիտե հիմքը, իր անզուգական բնութագրերով, դարձել է հարթակի գերազանց աշխատանքի ապահովման հիմնական տարրը:
Գրանիտը, միլիոնավոր տարիների երկրաբանական փոփոխություններից հետո, ներքին կառուցվածքը խիտ և միատարր է, հիմնականում քվարցի, դաշտային սպատի և այլ միներալների շնորհիվ, որոնք սերտորեն միահյուսված են։ Այս բնականորեն ձևավորված եզակի կառուցվածքը գրանիտի հիմքին հաղորդում է մի շարք ակնառու հատկություններ։
Չափազանց կայուն, մեկուսացված արտաքին միջամտությունից
Արտաքին միջավայրի թրթռումը ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող հարթակի ճշգրտության թշնամին է: Գործարանի հատակում և շրջակա երթևեկության մեջ խոշոր մեքենաների և սարքավորումների աշխատանքի հետևանքով առաջացող թրթռումը կարող է գետնի միջոցով փոխանցվել շարժվող հարթակին: Այնուամենայնիվ, գրանիտե հիմքը նման է ամուր «երկրաշարժակայուն ամրոցի»: Դրա բարդ բյուրեղային կառուցվածքը կարող է արդյունավետորեն արգելափակել և մեղմացնել թրթռումը, և գործնական փորձարկումների միջոցով հարթակին փոխանցվող թրթռման ամպլիտուդը կարող է նվազեցվել ավելի քան 80%-ով: Կիսահաղորդչային չիպերի արտադրության արհեստանոցում լուսանկարչական լիտոգրաֆիայի գործընթացը պահանջում է դիրքավորման ճշգրտություն՝ նանոմետրային մակարդակի հասնելու համար, և գրանիտե հիմքի վրա պահվող ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակը կարող է ապահովել չիպերի լիտոգրաֆիայի սարքավորումների կայուն աշխատանքը բարդ թրթռման միջավայրում, ճշգրիտ ավարտել սխեմայի նախշի փորագրությունը և զգալիորեն բարելավել չիպերի արտադրության արտադրողականությունը:
Լավ ջերմային կայունություն, չի վախենում ջերմաստիճանի փոփոխություններից
Ջերմաստիճանի տատանումները կհանգեցնեն շատ նյութերի ընդարձակման և կծկման, ինչը կազդի սարքավորումների ճշգրտության վրա: Այնուամենայնիվ, գրանիտե հիմքը ցուցաբերում է արտակարգ ջերմային կայունություն, և դրա ջերմային ընդարձակման գործակիցը չափազանց ցածր է, ընդհանուր առմամբ 5-7 ×10⁻⁶/℃: Աստղագիտության ոլորտում, մեծ աստղադիտակների ոսպնյակների նուրբ կարգավորման համար օգտագործվող ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակը, գրանիտե հիմքով, նույնիսկ ցերեկային և գիշերային ջերմաստիճանի տարբերության կտրուկ փոփոխությունների դեպքում, կարող է ապահովել, որ ոսպնյակի դիրքորոշման ճշգրտությունը պահպանվի ենթամիկրոնային մակարդակում՝ օգնելով աստղագետներին հստակորեն արձանագրել հեռավոր երկնային մարմինների նուրբ փոփոխությունները և ուսումնասիրել խորը տիեզերքի առեղծվածները:
Բարձր կարծրություն և մաշվածության դիմադրություն՝ երկարատև օգտագործման համար
Երկարաժամկետ հեռանկարում, չնայած հարթակի և հիմքի միջև օդային լողացող հենարան կա, այնուամենայնիվ, որոշակի աստիճանի շփում դեռևս կա: Գրանիտային կարծրությունը բարձր է, Մոհսի կարծրությունը կարող է հասնել 6-7-ի, ինչը գերազանց մաշվածության դիմադրողականություն ունի: Նյութագիտության լաբորատորիայում հաճախ օգտագործվող ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակը, որի գրանիտային հիմքը կարող է արդյունավետորեն դիմակայել երկարատև շփման կորստին, համեմատած սովորական հիմքի հետ, կարող է ավելի քան 50%-ով երկարացնել հարթակի սպասարկման ցիկլը, նվազեցնել սարքավորումների սպասարկման ծախսերը և ապահովել գիտահետազոտական աշխատանքների շարունակականությունը:
Գրանիտե հիմքի ընտրությունը ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակի համար ճշգրտության, կայունության և դիմացկունության վերջնական ձգտումն է: Կիսահաղորդչային արտադրության, օպտիկական գործիքների արտադրության, ավիատիեզերական արդյունաբերության, գիտական հետազոտությունների և փորձարկումների ոլորտներում, որոնք պահանջում են գրեթե խիստ ճշգրտություն, գրանիտե հիմքի վրա հենված ճշգրիտ ստատիկ ճնշման օդային լողացող շարժման հարթակը խաղում է անփոխարինելի կարևոր դեր՝ նպաստելով տարբեր ոլորտների զարգացմանը՝ ավելի բարձր ճշգրտության ուղղությամբ:
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլ-09-2025