Գրանիտե շերտը կարևոր բաղադրիչ է տարբեր կիսահաղորդչային սարքերում: Որպես բարձր կայունության և կոշտության նյութ, գրանիտը լայնորեն օգտագործվում է որպես կիսահաղորդչային մշակման սարքավորումների հիմք: Այն բնութագրվում է ցածր ջերմային ընդարձակման գործակցով, բարձր չափային կայունությամբ և գերազանց մեխանիկական հատկություններով: Այս հատկությունների շնորհիվ գրանիտե շերտը առավել հաճախ օգտագործվում է կիսահաղորդչային սարքերի երեք տարբեր տեսակներում՝ չափագիտական սարքավորումներում, լիտոգրաֆիկ սարքավորումներում և ստուգիչ սարքավորումներում:
Չափագիտական սարքավորումները օգտագործվում են կիսահաղորդչային սարքերի կրիտիկական չափերը չափելու և հայտնաբերելու համար: Այն կարևոր դեր է խաղում կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացի որակի և հետևողականության պահպանման գործում: Չափագիտական սարքավորումները ներառում են այնպիսի գործիքներ, ինչպիսիք են օպտիկական մանրադիտակները, էլեկտրոնային մանրադիտակները և ատոմային ուժային մանրադիտակները (ԱՈՒՄ): Քանի որ այս չափիչ գործիքների աշխատանքը կախված է դրանց կայունությունից, ճշգրտությունից և թրթռման դիմադրությունից, գրանիտը իդեալական ընտրություն է դրանց հիմքի նյութի համար: Գրանիտե հիմքի միատարրությունն ու կայունությունը ապահովում են գործիքների կայուն հարթակ, ինչը մեծացնում է դրանց ճշգրտությունն ու հուսալիությունը:
Վաֆլիի վրա միկրոչիպային նախշեր պատրաստելու համար օգտագործվում են լիտոգրաֆիկ սարքավորումներ: Լիտոգրաֆիկ գործընթացը պահանջում է բարձր մակարդակի ճշգրտություն և ստույգություն՝ բարդ սխեմաներ ստեղծելու և չիպի աշխատանքը բարելավելու համար: Լիտոգրաֆիկ սարքավորումները ներառում են քայլային և սկաներային համակարգեր, որոնք օգտագործում են լույս՝ պատկերները վաֆլիի վրա փոխանցելու համար: Քանի որ լիտոգրաֆիկ գործընթացը խիստ զգայուն է թրթռումների և ջերմային փոփոխությունների նկատմամբ, բարձրորակ շերտը կարևոր է լիտոգրաֆիկ գործընթացի կայունությունն ու կրկնելիությունն ապահովելու համար: Գրանիտե շերտը ապահովում է լիտոգրաֆիկ համակարգերի համար անհրաժեշտ կայունությունը և խիստ թրթռումների մարման արդյունավետությունը: Գրանիտե շերտը թույլ է տալիս քայլային կամ սկաներային համակարգին պահպանել ճշգրիտ տարածական հարաբերություններ՝ ապահովելով բարձր ճշգրտություն և վերջնական արտադրանքի որակ:
Ստուգիչ սարքավորումները օգտագործվում են կիսահաղորդչային սարքերի ցանկացած թերություն հայտնաբերելու համար: Ստուգիչ սարքավորումները ներառում են այնպիսի համակարգեր, ինչպիսիք են լազերային սկանավորող մանրադիտակները, էլեկտրոնային մանրադիտակները և օպտիկական մանրադիտակները: Քանի որ այս սարքերը պետք է լինեն բարձր ճշգրտության, կայունության և թրթռմանը դիմացկուն, գրանիտե շերտերը կատարյալ նյութ են: Գրանիտի մեխանիկական հատկությունները և չափսերի կայունությունը նպաստում են թրթռման մեկուսացմանը, ինչը մեծացնում է ստուգիչ սարքավորումների ելքային ճշգրտությունը:
Ամփոփելով՝ գրանիտե շերտը կարևոր դեր ունի կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ և լայնորեն օգտագործվում է տարբեր տեսակի սարքավորումներում: Դրա եզակի հատկությունները, ինչպիսիք են չափային կայունությունը, ցածր ջերմային ընդարձակման գործակիցը և գերազանց մեխանիկական կայունությունը, գրանիտը դարձնում են կիսահաղորդչային սարքավորումների շերտի նյութի իդեալական ընտրություն: Քանի որ բարձրորակ գրանիտե շերտը կիսահաղորդչային սարքավորումներին ապահովում է անհրաժեշտ կայունությունը, ճշգրտությունը և թրթռման դիմադրությունը, այն, ի վերջո, բարելավում է վերջնական արտադրանքի որակը: Հետևաբար, կիսահաղորդչային սարքավորումներում գրանիտե շերտի օգտագործումը, անկասկած, կշարունակվի տարիներ շարունակ:
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլ-03-2024