Գրանիտը կարծր և դիմացկուն նյութ է, որը հաճախ օգտագործվում է շինարարության ոլորտում: Այնուամենայնիվ, այն նաև ունի հատկություններ, որոնք այն օգտակար են դարձնում կիսահաղորդչային արտադրության մեջ, մասնավորապես՝ ինտեգրալ սխեմաների արտադրության և մշակման մեջ: Գրանիտե բաղադրիչները, ինչպիսիք են գրանիտե սեղանները և գրանիտե բլոկները, լայնորեն օգտագործվում են իրենց կայունության, հարթության և ցածր ջերմային ընդարձակման գործակցի շնորհիվ:
Կիսահաղորդչային արտադրության մեջ գրանիտե բաղադրիչների հիմնական կիրառություններից մեկը արտադրության գործընթացն է: Սիլիկոնային թիթեղները, որոնք ինտեգրալ սխեմաների հիմնական կառուցվածքային բլոկներն են, պետք է արտադրվեն բարձր ճշգրտությամբ և ճշգրտությամբ: Գործընթացի ընթացքում ցանկացած աղավաղում կամ շարժում կարող է հանգեցնել թերությունների, որոնք կարող են ազդել ինտեգրալ սխեմաների որակի և ֆունկցիոնալության վրա: Գրանիտե սեղանները, իրենց բարձր կայունությամբ և հարթությամբ, լավ հարթակ են ապահովում թիթեղների մշակման սարքավորումների համար: Դրանք նաև դիմացկուն են գործընթացում անհրաժեշտ տաքացման և սառեցման հետևանքով առաջացած ջերմային ընդարձակման և կծկման նկատմամբ:
Գրանիտային բլոկները նաև օգտագործվում են կիսահաղորդչային մշակման մեջ՝ իրենց ջերմային կայունության համար: Փորագրման կամ նստեցման գործընթացների ընթացքում տաք գազեր կամ պլազմա են օգտագործվում սիլիցիումային վաֆլիի մակերեսը փոփոխելու համար: Վաֆլիի ջերմաստիճանը պետք է վերահսկվի՝ գործընթացի արդյունավետ և ճշգրիտ իրականացումն ապահովելու համար: Գրանիտային բլոկները, իրենց ցածր ջերմային ընդարձակման գործակցով, օգնում են կայունացնել վաֆլիի ջերմաստիճանը՝ նվազեցնելով ջերմաստիճանի տատանումների ռիսկը, որոնք կարող են ազդել մշակվող նյութի որակի վրա:
Բացի արտադրության և մշակման գործընթացներից, գրանիտե բաղադրիչները օգտագործվում են նաև կիսահաղորդչային արտադրության չափագիտության և ստուգման փուլերում: Չափագիտական չափումները կատարվում են՝ ապահովելու համար, որ թիթեղի վրա կառուցվածքների չափը, ձևը և դիրքը համապատասխանեն պահանջվող պահանջներին: Գրանիտե բլոկները օգտագործվում են որպես հղման ստանդարտներ այս չափումներում՝ իրենց չափային կայունության և ճշգրտության շնորհիվ: Դրանք նաև օգտագործվում են ստուգման փուլերում, որտեղ ինտեգրալ սխեմաների որակը ստուգվում է բարձր խոշորացման միջոցով:
Ընդհանուր առմամբ, վերջին տարիներին կիսահաղորդչային արտադրության մեջ գրանիտե բաղադրիչների օգտագործումը աճել է: Ինտեգրալ սխեմաների արտադրության և մշակման մեջ բարձր ճշգրտության, ճշգրտության և կայունության անհրաժեշտությունը խթանել է այս նյութերի ընդունումը կիսահաղորդչային արտադրողների կողմից: Գրանիտի եզակի հատկությունները, ինչպիսիք են կարծրությունը, կայունությունը և ցածր ջերմային ընդարձակման գործակիցը, այն դարձնում են հիանալի ընտրություն այս գործընթացներում օգտագործելու համար: Կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի շարունակական զարգացման և կատարելագործման հետ մեկտեղ, գրանիտե բաղադրիչների օգտագործումը, կանխատեսվում է, որ ապագայում էլ ավելի կաճի:
Հրապարակման ժամանակը. Դեկտեմբերի 05-2023