Ինչպե՞ս ստուգել գրանիտե ճշգրիտ հարթակի ճշգրտությունը։ Համոզվե՞լ, որ ճշգրտությունը ստանդարտ է։

Կիսահաղորդիչների արտադրության և ճշգրիտ չափիչ գործիքների նման ոլորտներում գրանիտե ճշգրիտ հարթակների ճշգրտությունը անմիջականորեն որոշում է սարքավորումների շահագործման որակը: Հարթակի ճշգրտությունը չափանիշներին համապատասխանեցնելու համար ջանքեր պետք է գործադրվեն երկու ասպեկտով՝ հիմնական ցուցանիշների հայտնաբերում և ստանդարտ նորմերի պահպանում:

Հիմնական ցուցիչի հայտնաբերում. ճշգրտության բազմաչափ կառավարում
Հարթության հայտնաբերում. Հղման հարթության «հարթության» որոշում
Հարթությունը գրանիտե ճշգրիտ հարթակների հիմնական ցուցանիշն է, և այն սովորաբար չափվում է լազերային ինտերֆերոմետրերով կամ էլեկտրոնային մակարդակներով: Լազերային ինտերֆերոմետրը կարող է ճշգրիտ չափել հարթակի մակերեսի մանր ալիքները՝ լազերային ճառագայթ արձակելով և լույսի ինտերֆերենցիայի սկզբունքը օգտագործելով՝ մինչև միկրոնային մակարդակի հասնող ճշգրտությամբ: Էլեկտրոնային մակարդակը չափում է՝ բազմիցս շարժվելով և գծում է հարթակի մակերեսի եռաչափ ուրվագծային քարտեզ՝ հայտնաբերելու համար, թե արդյոք կան տեղային ելուստներ կամ փոսեր: Օրինակ, կիսահաղորդչային լուսանկարչական մեքենաներում օգտագործվող գրանիտե հարթակները պետք է ունենան ±0.5 մկմ/մ հարթություն, ինչը նշանակում է, որ 1 մետր երկարության սահմաններում բարձրության տարբերությունը չպետք է գերազանցի կես միկրոմետրը: Միայն բարձր ճշգրտությամբ հայտնաբերման սարքավորումների միջոցով կարող է ապահովվել այս խիստ չափանիշը:
2. Ուղիղության հայտնաբերում. Ապահովեք գծային շարժման «ուղիղությունը»
Ճշգրիտ շարժական մասեր կրող հարթակների համար ուղիղությունը կենսական նշանակություն ունի: Հայտնաբերման տարածված մեթոդներն են մետաղալարային մեթոդը կամ լազերային կոլիմատորը: Մետաղալարային մեթոդը ներառում է բարձր ճշգրտությամբ պողպատե լարերի կախումը և հարթակի մակերեսի և պողպատե լարերի միջև եղած բացվածքի համեմատումը՝ ուղիղությունը որոշելու համար: Լազերային կոլիմատորը օգտագործում է լազերի գծային տարածման բնութագրերը՝ հարթակի ուղեցույց ռելսի տեղադրման մակերեսի գծային սխալը հայտնաբերելու համար: Եթե ուղիղությունը չի համապատասխանում ստանդարտին, դա կհանգեցնի սարքավորումների տեղաշարժի շարժման ընթացքում, ինչը կազդի մշակման կամ չափման ճշգրտության վրա:
3. Մակերեսի կոպտության հայտնաբերում. Ապահովեք շփման «նուրբությունը»
Հարթակի մակերեսի կոպտությունը ազդում է բաղադրիչների տեղադրման համապատասխանության վրա: Սովորաբար, հայտնաբերման համար օգտագործվում է գրիչ-կոպտության չափիչ կամ օպտիկական մանրադիտակ: Գրիչ-տիպի սարքը գրանցում է մանրադիտակային պրոֆիլի բարձրության փոփոխությունները` հարթակի մակերեսին նուրբ զոնդով շփվելով: Օպտիկական մանրադիտակները կարող են անմիջականորեն դիտարկել մակերեսի հյուսվածքը: Բարձր ճշգրտության կիրառություններում գրանիտե հարթակների մակերեսի կոպտությունը պետք է վերահսկվի Ra≤0.05μm-ի վրա, որը համարժեք է հայելու նման էֆեկտի, ապահովելով, որ ճշգրիտ բաղադրիչները ամուր տեղավորվեն տեղադրման ընթացքում և խուսափեն ճեղքերից առաջացած թրթռումից կամ տեղաշարժից:
Ճշգրիտության չափանիշները հետևյալն են՝ միջազգային նորմեր և ձեռնարկության ներքին վերահսկողություն
Ներկայումս միջազգային մակարդակով գրանիտե հարթակների ճշգրտությունը որոշելու համար որպես հիմք լայնորեն օգտագործվում են ISO 25178 և GB/T 24632 ստանդարտները, և կան հստակ դասակարգումներ այնպիսի ցուցանիշների համար, ինչպիսիք են հարթությունը և ուղիղությունը: Բացի այդ, բարձրակարգ արտադրական ձեռնարկությունները հաճախ սահմանում են ավելի խիստ ներքին վերահսկողության ստանդարտներ: Օրինակ, լուսանկարչական լիտոգրաֆիկ մեքենայի գրանիտե հարթակի հարթության պահանջը 30%-ով ավելի բարձր է, քան միջազգային ստանդարտը: Փորձարկումներ անցկացնելիս չափված տվյալները պետք է համեմատվեն համապատասխան ստանդարտների հետ: Միայն ստանդարտներին լիովին համապատասխանող հարթակները կարող են ապահովել ճշգրիտ սարքավորումների կայուն աշխատանք:
Գրանիտե ճշգրիտ հարթակների ճշգրտության ստուգումը համակարգված նախագիծ է: Միայն հարթության, ուղիղության և մակերեսի կոպտության նման հիմնական ցուցանիշների խստորեն ստուգմամբ և միջազգային և ձեռնարկությունների չափանիշներին հետևելով կարող է երաշխավորվել հարթակի բարձր ճշգրտությունն ու հուսալիությունը՝ ամուր հիմք դնելով բարձրակարգ արտադրական ոլորտների, ինչպիսիք են կիսահաղորդիչները և ճշգրիտ գործիքները, համար: