Կիսահաղորդիչների արտադրության ոլորտում ենթամիկրոնային ճշգրտությունը չիպի աշխատանքի ապահովման գրավականն է, և (ZHHIMG®) գրանիտե հիմքը՝ իր նյութական հատկություններով, ճշգրիտ մշակմամբ և նորարարական դիզայնով, դարձել է այս ճշգրտությանը հասնելու հիմնական երաշխիքը։
Նյութական հատկությունների տեսանկյունից, ZHHIMG®-ի կողմից ընտրված սև գրանիտն ունի մոտավորապես 3100 կգ/մ³ խտություն՝ խիտ ներքին կառուցվածքով։ Այս բարձր խտությունը նրան հաղորդում է բացառիկ կայունություն և կոշտություն։ Կիսահաղորդչային սարքավորումների շահագործման ընթացքում շարժիչների պտույտը և սարքավորումների ներսում մեխանիկական բաղադրիչների շարժումը առաջացնում են թրթռումներ։ Գրանիտե հիմքը կարող է արդյունավետորեն կլանել թրթռման էներգիայի ավելի քան 90%-ը՝ զգալիորեն նվազեցնելով թրթռման ազդեցությունը սարքավորումների ճշգրտության վրա։ Միևնույն ժամանակ, ջերմային ընդարձակման չափազանց ցածր գործակիցը թույլ է տալիս պահպանել իր դեֆորմացիան շատ փոքր միջակայքում, երբ շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանը տատանվում է, ապահովելով կիսահաղորդչային սարքավորումների կայուն հենարան և կանխելով սարքավորումների բաղադրիչների տեղաշարժը ջերմաստիճանի փոփոխությունների պատճառով, ինչը կարող է ազդել ճշգրտության վրա։
Մշակման և արտադրության առումով, ZHHIMG® գործարանը օգտագործում է միջազգային առաջադեմ վերամշակման սարքավորումներ և ունի չորս գերմեծ հղկող մեքենաներ (յուրաքանչյուր մեքենայի արժեքը գերազանցում է 500,000 ԱՄՆ դոլարը), որոնք կարող են կատարել գրանիտի բարձր ճշգրտությամբ հղկում: Հինգ առանցքային կապակցված CNC մեքենայացման և այլ գործընթացների միջոցով մեքենայի հիմքի հարթությունը կարող է հասնել նանոմետրական մակարդակի՝ ապահովելով կիսահաղորդչային սարքավորումների տեղադրման համար գերհարթ հենակետային մակերես և ապահովելով սարքավորումների յուրաքանչյուր բաղադրիչի ճշգրիտ դիրքավորումը: Ավելին, հաստատուն ջերմաստիճանի և խոնավության արհեստանոցը (որը ծածկում է 10,000 քառակուսի մետր տարածք) ապահովում է կայուն միջավայր մշակման համար: Դրա շուրջը 500 մմ լայնությամբ և 2000 մմ խորությամբ հակաթրթռումային խրամատները, ինչպես նաև լուռ կռունկները, արդյունավետորեն մեկուսացնում են արտաքին թրթռման միջամտությունը և ապահովում մեքենայի հիմքի մշակման ճշգրտությունը:
Բացի այդ, ZHHIMG®-ը նաև ունի հզոր հարմարեցման հնարավորություն: Կիսահաղորդչային սարքավորումների հատուկ պահանջների համար ճշգրիտ տեղադրման անցքերը և մալուխային սկուտեղները կարող են նախապես պատրաստվել՝ սարքավորումների և հիմքի միջև կատարյալ համատեղելիություն ապահովելու համար: Միևնույն ժամանակ, համաշխարհային մակարդակի չափագիտական և փորձարկման սարքավորումների հետ համատեղ, ինչպիսիք են գերմանական Mahr րոպեաչափը (0.5 մկմ ճշգրտությամբ) և շվեյցարական WYLER էլեկտրոնային մակարդակաչափը, մեքենայի հիմքը խստորեն ստուգվում և կարգաբերվում է՝ ապահովելու համար, որ յուրաքանչյուր մեքենայի հիմք կարողանա բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների խիստ պահանջները՝ ենթամիկրոնային մակարդակի ճշգրտության համար:
Հենց այս առավելությունների համադրությունն է, որ ZHHIMG® գրանիտե հիմքը դարձնում է կիսահաղորդչային սարքավորումներում ենթամիկրոնային ճշգրտության հասնելու հուսալի ընտրություն՝ նպաստելով կիսահաղորդչային արտադրությանը դեպի ավելի բարձր ճշգրտության դաշտեր։
Հրապարակման ժամանակը. Հունիս-18-2025