Կիսահաղորդչային վաֆլիների ստուգման ոլորտում մաքուր սենյակի միջավայրի մաքրությունը ուղղակիորեն կապված է արտադրանքի արտադրողականության հետ: Քանի որ չիպերի արտադրության գործընթացների ճշգրտությունը շարունակում է բարելավվել, հայտնաբերման սարքավորումների կրող հարթակների պահանջները գնալով ավելի խիստ են դառնում: Գրանիտե հարթակները, իրենց զրոյական մետաղական իոնների արտանետման և ցածր մասնիկների աղտոտվածության բնութագրերով, գերազանցել են ավանդական չժանգոտվող պողպատե նյութերը և դարձել են վաֆլիների ստուգման սարքավորումների նախընտրելի լուծումը:
Գրանիտը բնական մագմատիկ ապար է, որը հիմնականում կազմված է ոչ մետաղական միներալներից, ինչպիսիք են քվարցը, դաշտային սպաթը և փայլարը: Այս հատկանիշը նրան տալիս է մետաղական իոնների զրոյական արտանետման առավելություն: Ի տարբերություն դրա, չժանգոտվող պողպատը, որպես երկաթի, քրոմի և նիկելի նման մետաղների համաձուլվածք, հակված է իր մակերեսին էլեկտրաքիմիական կոռոզիայի՝ մաքուր սենյակային միջավայրում ջրային գոլորշու և թթվային կամ ալկալային գազերի էրոզիայի պատճառով, ինչը հանգեցնում է մետաղական իոնների, ինչպիսիք են Fe²⁺-ը և Cr³⁺-ը, նստվածքի: Երբ այս փոքրիկ իոնները կպչում են թիթեղի մակերեսին, դրանք կփոխեն կիսահաղորդչային նյութի էլեկտրական հատկությունները հետագա գործընթացներում, ինչպիսիք են լուսանկարչական լիտոգրաֆիան և փորագրությունը, կառաջացնեն տրանզիստորի շեմային լարման շեղում և նույնիսկ կհանգեցնեն շղթայի կարճ միացման: Մասնագիտական հաստատությունների փորձարկման տվյալները ցույց են տալիս, որ գրանիտային հարթակը 1000 ժամ շարունակ սիմուլյացված մաքուր սենյակային ջերմաստիճանի և խոնավության միջավայրի (23±0.5℃, 45%±5% RH) ենթարկվելուց հետո, մետաղական իոնների արտանետումը ցածր էր հայտնաբերման սահմանից (< 0.1ppb): Չժանգոտվող պողպատե հարթակներ օգտագործելիս մետաղական իոնային աղտոտման պատճառով վեֆլիների արատների մակարդակը կարող է հասնել 15%-ից 20%-ի։
Մասնիկային աղտոտվածության վերահսկման առումով, գրանիտե հարթակները նույնպես բացառիկ լավ են աշխատում: Մաքուր սենյակները չափազանց բարձր պահանջներ ունեն օդում կախված մասնիկների կոնցենտրացիայի համար: Օրինակ՝ ISO Class 1 մաքուր սենյակներում մեկ խորանարդ մետրի համար թույլատրելի 0.1 մկմ մասնիկների քանակը չի գերազանցում 10-ը: Նույնիսկ եթե չժանգոտվող պողպատե հարթակը ենթարկվել է հղկման մշակման, այն դեռևս կարող է առաջացնել մետաղական բեկորներ կամ օքսիդային թեփուկների պոկում՝ արտաքին ուժերի, ինչպիսիք են սարքավորումների թրթռումը և անձնակազմի աշխատանքը, պատճառով, որոնք կարող են խանգարել հայտնաբերման օպտիկական ուղուն կամ քերծել վաֆլիի մակերեսը: Գրանիտե հարթակները, իրենց խիտ հանքային կառուցվածքով (խտություն ≥2.7 գ/սմ³) և բարձր կարծրությամբ (Մոսի սանդղակով 6-7), երկարատև օգտագործման ընթացքում հակված չեն մաշվելու կամ կոտրվելու: Չափումները ցույց են տալիս, որ դրանք կարող են նվազեցնել կախված մասնիկների կոնցենտրացիան հայտնաբերման սարքավորումների տարածքի օդում ավելի քան 40%-ով՝ համեմատած չժանգոտվող պողպատե հարթակների հետ, արդյունավետորեն պահպանելով մաքուր սենյակի որակի չափանիշները:
Բացի մաքուր բնութագրերից, գրանիտե հարթակների համապարփակ կատարողականությունը զգալիորեն գերազանցում է նաև չժանգոտվող պողպատին։ Ջերմային կայունության առումով դրա ջերմային ընդարձակման գործակիցը կազմում է ընդամենը (4-8) ×10⁻⁶/℃, որը չժանգոտվող պողպատի ջերմաստիճանի կեսից պակաս է (մոտ 17×10⁻⁶/℃), ինչը կարող է ավելի լավ պահպանել հայտնաբերման սարքավորումների դիրքորոշման ճշգրտությունը, երբ մաքուր սենյակում ջերմաստիճանը տատանվում է։ Բարձր մարման բնութագիրը (մարման հարաբերակցություն > 0.05) կարող է արագորեն մեղմացնել սարքավորումների թրթռումը և կանխել հայտնաբերման զոնդի ցնցումը։ Դրա բնական կոռոզիոն դիմադրությունը թույլ է տալիս այն մնալ կայուն նույնիսկ լուսակայուն լուծիչների, փորագրման գազերի և այլ քիմիական նյութերի ազդեցության տակ՝ առանց լրացուցիչ ծածկույթի պաշտպանության անհրաժեշտության։
Ներկայումս գրանիտե հարթակները լայնորեն օգտագործվում են առաջադեմ վաֆլի արտադրության գործարաններում: Տվյալները ցույց են տալիս, որ գրանիտե հարթակի ներդրումից հետո վաֆլիի մակերեսային մասնիկների հայտնաբերման սխալ գնահատման մակարդակը նվազել է 60%-ով, սարքավորումների կարգաբերման ցիկլը երկարացվել է երեք անգամ, իսկ ընդհանուր արտադրական արժեքը նվազել է 25%-ով: Քանի որ կիսահաղորդչային արդյունաբերությունը շարժվում է դեպի ավելի բարձր ճշգրտություն, գրանիտե հարթակները, իրենց հիմնական առավելություններով, ինչպիսիք են մետաղական իոնների զրոյական արտանետումը և մասնիկների ցածր աղտոտվածությունը, կշարունակեն ապահովել կայուն և հուսալի աջակցություն վաֆլիների ստուգման համար՝ դառնալով արդյունաբերության առաջընթացը խթանող կարևոր ուժ:
Հրապարակման ժամանակը. Մայիսի 20-2025