Կիսահաղորդիչների արտադրության արհեստանոցում չիպերի արտադրության գործընթացի պահանջները շրջակա միջավայրի պայմանների և սարքավորումների ճշգրտության առումով ծայրահեղ են, և ցանկացած աննշան շեղում կարող է հանգեցնել չիպերի արտադրողականության զգալի անկման: XYZT ճշգրիտ դարպասային շարժման հարթակը հենվում է գրանիտե բաղադրիչների վրա՝ հարթակի այլ մասերի հետ համագործակցելու և նանոմասշտաբային ճշգրտության հասնելու համար ամուր հիմք ստեղծելու համար:
Գերազանց թրթռումների դեմ պայքարի հատկություններ
Կիսահաղորդիչների արտադրության արհեստանոցում ծայրամասային սարքավորումների և շրջող անձնակազմի աշխատանքը կարող է թրթռում առաջացնել: Գրանիտե բաղադրիչների ներքին կառուցվածքը խիտ և միատարր է՝ բնական բարձր մարման բնութագրերով, ինչպես արդյունավետ թրթռման «արգելք»: Երբ արտաքին թրթռումը փոխանցվում է XYZT հարթակին, գրանիտե բաղադրիչը կարող է արդյունավետորեն մեղմացնել թրթռման էներգիայի ավելի քան 80%-ը և նվազեցնել թրթռման միջամտությունը հարթակի շարժման ճշգրտության վրա: Միևնույն ժամանակ, հարթակը հագեցած է բարձր ճշգրտությամբ օդային լողացող ուղեցույց համակարգով, որը աշխատում է գրանիտե բաղադրիչների հետ համատեղ: Օդային լողացող ուղեցույցը օգտագործում է բարձր ճնշման գազից ձևավորված կայուն գազային թաղանթը՝ հարթակի շարժվող մասերի անհպում կախման շարժումն իրականացնելու և մեխանիկական շփման հետևանքով առաջացած փոքր թրթռումը նվազեցնելու համար: Միասին, երկուսն էլ ապահովում են, որ հարթակի դիրքորոշման ճշգրտությունը միշտ պահպանվի նանոմետրական մակարդակում՝ չիպային լիտոգրաֆիայի և փորագրության նման հիմնական գործընթացներում, և խուսափում են չիպային միացման սխեմաների շեղումից՝ թրթռման պատճառով:
Գերազանց ջերմային կայունություն
Արհեստանոցում ջերմաստիճանի և խոնավության տատանումները մեծ ազդեցություն ունեն չիպերի արտադրության սարքավորումների ճշգրտության վրա: Գրանիտի ջերմային ընդարձակման գործակիցը շատ ցածր է, սովորաբար 5-7 ×10⁻⁶/℃, չափը գրեթե անփոփոխ է ջերմաստիճանի փոփոխության ժամանակ: Նույնիսկ եթե արհեստանոցում ցերեկային և գիշերային ջերմաստիճանի տարբերությունը կամ սարքավորումների ջերմության արտադրությունը առաջացնում են շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանի տատանումներ, գրանիտի բաղադրիչները կարող են մնալ կայուն՝ կանխելու համար հարթակի դեֆորմացիան ջերմային ընդարձակման և կծկման պատճառով: Միևնույն ժամանակ, հարթակի հետ հագեցած ինտելեկտուալ ջերմաստիճանի կառավարման համակարգը իրական ժամանակում վերահսկում է շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանը, ավտոմատ կերպով կարգավորում է օդորակման և ջերմության ցրման սարքավորումները և պահպանում է արհեստանոցի ջերմաստիճանը 20°C ±1°C-ի վրա: Գրանիտի ջերմային կայունության առավելությունների հետ միասին, ապահովում է, որ հարթակը երկարատև շահագործման ընթացքում, յուրաքանչյուր առանցքի շարժման ճշգրտությունը միշտ համապատասխանում է չիպերի արտադրության նանոմետրային ճշգրտության չափանիշներին, որպեսզի չիպի լիտոգրաֆիայի նախշի չափը ճշգրիտ լինի, փորագրման խորությունը՝ միատարր:
Բավարարեք մաքուր միջավայրի կարիքները
Կիսահաղորդիչների արտադրության արհեստանոցը պետք է պահպանի բարձր մակարդակի մաքրություն՝ չիպի փոշու մասնիկների աղտոտումը կանխելու համար: Գրանիտե նյութն ինքնին փոշի չի առաջացնում, իսկ մակերեսը հարթ է, փոշին հեշտությամբ չի կլանվում: Հարթակն ամբողջությամբ ունի լիովին փակ կամ կիսափակ կառուցվածք՝ արտաքին փոշու ներթափանցումը նվազեցնելու համար: Ներքին օդի շրջանառության համակարգը միացված է արհեստանոցի մաքուր օդորակման համակարգին՝ ապահովելու համար, որ ներքին օդի մաքրությունը հասնի չիպերի արտադրության համար անհրաժեշտ մակարդակին: Այս մաքուր միջավայրում գրանիտե բաղադրիչները չեն ազդի աշխատանքի վրա փոշու էրոզիայի պատճառով, և հարթակի հիմնական բաղադրիչները, ինչպիսիք են բարձր ճշգրտության սենսորները և շարժիչները, նույնպես կարող են կայուն աշխատել՝ ապահովելով չիպերի արտադրության համար շարունակական և հուսալի նանոմասշտաբային ճշգրտության երաշխիք և օգնելով կիսահաղորդիչների արդյունաբերությանը անցնել ավելի բարձր գործընթացային մակարդակի:
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլի 14-2025