Գրանիտե հիմք. Ինչո՞ւ է այն լուսանկարչական լիտոգրաֆիկ մեքենաների «ոսկե գործընկերը»։

Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ լուսանկարչական լիտոգրաֆիկ մեքենան հիմնական սարք է, որը որոշում է չիպերի ճշգրտությունը, իսկ գրանիտե հիմքը՝ իր բազմաթիվ բնութագրերով, դարձել է լուսանկարչական լիտոգրաֆիկ մեքենայի անփոխարինելի բաղադրիչը։

Ջերմային կայունություն. «Պաշտպանություն» ջերմաստիճանի փոփոխությունների դեմ
Երբ լուսանկարչական լիտոգրաֆիայի մեքենան աշխատում է, այն մեծ քանակությամբ ջերմություն է առաջացնում: Նույնիսկ ընդամենը 0.1℃ ջերմաստիճանի տատանումը կարող է առաջացնել սարքավորումների բաղադրիչների դեֆորմացիա և ազդել լուսանկարչական լիտոգրաֆիայի ճշգրտության վրա: Գրանիտի ջերմային ընդարձակման գործակիցը չափազանց ցածր է՝ ընդամենը 4-8 ×10⁻⁶/℃, որը մոտավորապես պողպատի 1/3-ն է և ալյումինե համաձուլվածքի 1/5-ը: Սա թույլ է տալիս գրանիտի հիմքին պահպանել չափային կայունությունը, երբ լուսանկարչական մեքենան երկար ժամանակ աշխատում է կամ երբ շրջակա միջավայրի ջերմաստիճանը փոխվում է, ապահովելով օպտիկական բաղադրիչների և մեխանիկական կառուցվածքների ճշգրիտ դիրքավորումը:

Գերհզոր հակաթրթռումային արդյունավետություն. «Սպունգ», որը կլանում է թրթռումը
Կիսահաղորդիչների գործարանում շրջակա սարքավորումների աշխատանքը և մարդկանց տեղաշարժը կարող են առաջացնել թրթռումներ: Գրանիտն ունի բարձր խտություն և կարծր կառուցվածք, ինչպես նաև գերազանց մարման հատկություններ՝ մետաղների մարման հարաբերակցությամբ 2-ից 5 անգամ: Երբ արտաքին թրթռումները փոխանցվում են գրանիտի հիմքին, ներքին հանքային բյուրեղների միջև շփումը թրթռման էներգիան վերածում է ջերմային էներգիայի՝ ցրման համար, ինչը կարող է զգալիորեն նվազեցնել թրթռումը կարճ ժամանակում, թույլ տալով լուսանկարչական լիտոգրաֆիկ մեքենային արագ վերականգնել կայունությունը և խուսափել լուսանկարչական լիտոգրաֆիկ պատկերի մշուշոտումից կամ անհամապատասխանությունից՝ թրթռման պատճառով:

Քիմիական կայունություն. մաքուր միջավայրի «պահապանը»
Լուսավիտոգրաֆիկ սարքի ներքին մասը շփվում է տարբեր քիմիական միջավայրերի հետ, և սովորական մետաղական նյութերը հակված են կոռոզիայի կամ մասնիկների արտանետման: Գրանիտը կազմված է այնպիսի հանքանյութերից, ինչպիսիք են քվարցը և դաշտային սպաթը: Այն ունի կայուն քիմիական հատկություններ և ուժեղ կոռոզիոն դիմադրություն: Թթվային և ալկալային լուծույթներում թրջվելուց հետո մակերեսային կոռոզիան չափազանց փոքր է: Միևնույն ժամանակ, դրա խիտ կառուցվածքը գրեթե չի առաջացնում բեկորներ կամ փոշի, բավարարելով մաքուր սենյակների ամենաբարձր ստանդարտների պահանջները և նվազեցնելով թիթեղների աղտոտման ռիսկը:

Մշակման հարմարվողականություն. ճշգրիտ չափորոշիչներ ստեղծելու «իդեալական նյութը»
Լուսավիտոգրաֆիկ մեքենայի հիմնական բաղադրիչները պետք է տեղադրվեն բարձր ճշգրտության հղման մակերեսի վրա: Գրանիտի ներքին կառուցվածքը միատարր է, և այն հեշտությամբ կարող է մշակվել չափազանց բարձր ճշգրտությամբ՝ հղկման, փայլեցման և այլ տեխնիկայի միջոցով: Դրա հարթությունը կարող է հասնել ≤0.5μm/մ-ի, իսկ մակերեսի կոպտությունը՝ ≤0.05μm, ինչը ապահովում է ճշգրիտ տեղադրման հիմք այնպիսի բաղադրիչների համար, ինչպիսիք են օպտիկական ոսպնյակները:

Երկար ծառայության ժամկետ և սպասարկում չպահանջող. «Սուր գործիքներ» ծախսերի կրճատման համար
Երկարատև օգտագործման ընթացքում հոգնածության և ճաքերի հակված մետաղական նյութերի համեմատ, գրանիտը հազվադեպ է ենթարկվում պլաստիկ դեֆորմացիայի կամ կոտրվածքի նորմալ բեռների տակ, և այն չի պահանջում մակերեսային մշակում, այդպիսով խուսափելով ծածկույթի թեփոտման և աղտոտման ռիսկից: Գործնականում, երկար տարիներ օգտագործելուց հետո, գրանիտային հիմքի հիմնական աշխատանքային ցուցանիշները կարող են դեռևս կայուն մնալ, նվազեցնելով սարքավորումների շահագործման և պահպանման ծախսերը:

Ջերմային կայունությունից, թրթռման դիմադրությունից մինչև քիմիական իներտություն, գրանիտե հիմքի բազմակի բնութագրերը կատարելապես համապատասխանում են լուսանկարչական լիտոգրաֆիկ մեքենայի պահանջներին: Քանի որ չիպերի արտադրության գործընթացը շարունակում է զարգանալ դեպի ավելի բարձր ճշգրտություն, գրանիտե հիմքերը կշարունակեն անփոխարինելի դեր խաղալ կիսահաղորդչային արտադրության ոլորտում: