Գրանիտե ճշգրիտ հարթակների հարթության հայտնաբերման մեթոդներ։

Ճշգրիտ արտադրության և գիտական ​​հետազոտությունների ոլորտներում գրանիտե ճշգրիտ հարթակների հարթությունը սարքավորումների ճշգրտությունն ապահովելու հիմնական ցուցանիշ է: Ստորև ներկայացված է մի քանի հիմնական հայտնաբերման մեթոդների և դրանց շահագործման ընթացակարգերի մանրամասն ներածություն ձեզ համար:
I. Լազերային ինտերֆերոմետրով հայտնաբերման մեթոդ
Լազերային ինտերֆերոմետրը բարձր ճշգրտությամբ հարթության հայտնաբերման համար նախընտրելի գործիք է: Որպես օրինակ վերցնենք ZYGO GPI XP լազերային ինտերֆերոմետրը, որի լուծաչափը կարող է հասնել 0.1 նմ-ի: Հայտնաբերումն իրականացնելիս նախ ինտերֆերոմետրի լույսի աղբյուրը համապատասխանեցրեք հարթակին և հարթակի մակերեսը բաժանեք 50 մմ × 50 մմ ցանցային տարածքների: Հետագայում, ինտերֆերենցիայի եզրային տվյալները հավաքվել են կետ առ կետ, և տվյալները համապատասխանեցվել և վերլուծվել են Զեռնիկեի բազմանդամի միջոցով՝ հարթության սխալը ստանալու համար: Այս մեթոդը կիրառելի է բարձր ճշգրտության հարթակների համար և կարող է հայտնաբերել ≤0.5 մկմ/մ² հարթության սխալներ: Այն լայնորեն օգտագործվում է ֆոտոլիտոգրաֆիկ մեքենաների և բարձրակարգ եռակի կոորդինատներով չափող մեքենաների հարթակների հայտնաբերման մեջ:
II. Էլեկտրոնային մակարդակային զանգվածի մեթոդ
Էլեկտրոնային մակարդակի մատրիցային հայտնաբերումը պարզ է շահագործման մեջ և բարձր արդյունավետությամբ։ Ընտրվել է TESA A2 էլեկտրոնային մակարդակ (0.01 մկմ/մ լուծաչափով) և դասավորվել է 9×9 մատրիցով՝ հարթակի X/Y առանցքի ուղղությամբ։ Յուրաքանչյուր մակարդակի թեքության տվյալները համաժամանակ հավաքելով և այնուհետև հաշվարկի համար օգտագործելով նվազագույն քառակուսիների մեթոդը՝ կարելի է ճշգրիտ ստանալ հարթության արժեքը։ Այս մեթոդը կարող է արդյունավետորեն որոշել հարթակի տեղական գոգավորության և ուռուցիկության պայմանները։ Օրինակ, կարելի է հայտնաբերել նաև 0.2 մկմ տատանում 50 մմ տիրույթում, ինչը հարմար է զանգվածային արտադրության մեջ արագ հայտնաբերման համար։
Iii. Օպտիկական հարթ բյուրեղային մեթոդ
Օպտիկական հարթ բյուրեղի մեթոդը հարմար է փոքր մակերեսով հարթակների հայտնաբերման համար: Օպտիկական հարթ բյուրեղը ամուր ամրացրեք հարթակի վրա փորձարկվող մակերեսին և դիտարկեք դրանց միջև ձևավորված ինտերֆերենցիալ գոտիները մոնոքրոմատիկ լույսի աղբյուրի (օրինակ՝ նատրիումի լամպի) լուսավորության տակ: Եթե շերտերը զուգահեռ ուղիղ շերտեր են, դա ցույց է տալիս լավ հարթություն: Եթե հայտնվում են կոր շերտեր, հաշվարկեք հարթության սխալը՝ հիմնվելով շերտի կորության աստիճանի վրա: Յուրաքանչյուր կոր շերտ ներկայացնում է 0.316 մկմ բարձրության տարբերություն, և հարթության տվյալները կարելի է ստանալ պարզ փոխակերպման միջոցով:
Չորս. Եռակոորդինատ չափիչ մեքենայի ստուգման մեթոդ
Եռաչափ կոորդինատային չափիչ մեքենան կարող է բարձր ճշգրտությամբ չափումներ կատարել եռաչափ տարածության մեջ: Գրանիտե հարթակը տեղադրեք չափիչ մեքենայի աշխատանքային սեղանի վրա և օգտագործեք զոնդը՝ հարթակի մակերեսի վրա գտնվող բազմաթիվ չափման կետերից տվյալները միատարր հավաքելու համար: Չափիչ մեքենայի համակարգը մշակում և վերլուծում է այդ տվյալները՝ հարթակի հարթության մասին հաշվետվություն ստեղծելու համար: Այս մեթոդը կարող է ոչ միայն հայտնաբերել հարթությունը, այլև միաժամանակ ստանալ հարթակի այլ երկրաչափական պարամետրեր, և հարմար է մեծ գրանիտե հարթակների համապարփակ հայտնաբերման համար:
Այս հայտնաբերման մեթոդների տիրապետումը կարող է օգնել ձեզ ճշգրիտ գնահատել գրանիտե ճշգրիտ հարթակի հարթությունը և ապահովել ճշգրիտ սարքավորումների կայուն աշխատանքի հուսալի երաշխիք։