Կիսահաղորդիչների արտադրության հետևում կանգնած «ժայռային ուժի» վերծանումը. Ինչպե՞ս կարող են գրանիտե ճշգրիտ բաղադրիչները վերաձևավորել չիպերի արտադրության ճշգրտության սահմանները։

Կիսահաղորդչային արտադրության մեջ ճշգրիտ հեղափոխությունը. Երբ գրանիտը հանդիպում է միկրոնային տեխնոլոգիային
1.1 Նյութագիտության մեջ անսպասելի հայտնագործություններ
SEMI միջազգային կիսահաղորդչային ասոցիացիայի 2023 թվականի զեկույցի համաձայն՝ աշխարհի առաջադեմ գործարանների 63%-ը սկսել է օգտագործել գրանիտե հիմքեր՝ ավանդական մետաղական հարթակների փոխարեն: Այս բնական քարը, որը ծագում է Երկրի խորքում մագմայի խտացումից, վերաշարադրում է կիսահաղորդչային արտադրության պատմությունը՝ իր եզակի ֆիզիկական հատկությունների շնորհիվ.

Ջերմային իներցիայի առավելություն. 4.5×10⁻⁶/℃ գրանիտի ջերմային ընդարձակման գործակիցը չժանգոտվող պողպատի ջերմային ընդարձակման գործակիցի ընդամենը 1/5-ն է, իսկ լիտոգրաֆիկ մեքենայի անընդհատ աշխատանքի ընթացքում պահպանվում է ±0.001 մմ չափսերի կայունությունը։

Թրթռման մարման բնութագրեր. ներքին շփման գործակիցը 15 անգամ ավելի բարձր է, քան թուջինը, արդյունավետորեն կլանելով սարքավորումների միկրոթրթռումը

Զրոյական մագնիսացման բնույթ. լազերային չափման մեջ մագնիսական սխալի լիակատար վերացում

1.2 Մետամորֆոզի ճանապարհը հանքից մինչև գործարան
Որպես օրինակ վերցնելով Շանդոնգում գտնվող ZHHIMG-ի ինտելեկտուալ արտադրական բազան, հում գրանիտի մի կտոր պետք է ենթարկվի հետևյալին.

Գերճշգրիտ մշակում. հինգ առանցքային միացման մշակման կենտրոն՝ 200 ժամ շարունակական ֆրեզավորման համար, մակերեսային կոպտություն մինչև Ra0.008μm

Արհեստական ​​ծերացման բուժում. 48 ժամ բնական սթրեսի ազատում հաստատուն ջերմաստիճանի և խոնավության արհեստանոցում, որը բարելավում է արտադրանքի կայունությունը 40%-ով
Երկրորդ՝ լուծեք կիսահաղորդչային արտադրության վեց ճշգրիտ խնդիրները՝ «ժայռային լուծումը»։
2.1 Վաֆլիի մասնատման արագության նվազեցման սխեմա

Դեպքի ցուցադրություն. Գերմանիայի չիպերի ձուլարանում մեր գազային լողացող գրանիտե հարթակի կիրառումից հետո.

Վաֆլիի տրամագիծը	չիպերի գնի նվազեցում	հարթության բարելավում
12 դյույմ	67%	≤0.001 մմ
18 դյույմ	82%	≤0.0005 մմ

2.2 Լիտոգրաֆիկ դասավորության ճշգրտության ճեղքման սխեմա

Ջերմաստիճանի փոխհատուցման համակարգ. ներկառուցված կերամիկական սենսորը իրական ժամանակում վերահսկում է ձևի փոփոխականը և ավտոմատ կերպով կարգավորում է հարթակի թեքությունը
Չափված տվյալներ՝ 28℃±5℃ տատանման դեպքում ներդրման ճշգրտությունը տատանվում է 0.12μm-ից պակաս