Կարո՞ղ է կերամիկական ուղիղ եզրը լինել բացակայող օղակը ձեր ենթամիկրոնային ստուգման գործընթացում:

Բարձր ճշգրտության արտադրության աշխարհում, որտեղ հանդուրժողականությունները նվազում են 5 միկրոնից ցածր, իսկ մակերեսային մշակումները մոտենում են օպտիկական որակին, մենք ապավինում ենք գործիքներին, որոնք պետք է զարգանան ավանդույթներից այն կողմ: Տասնամյակներ շարունակ պողպատն ու գրանիտը գերիշխում էին չափագիտության ամբիոնում: Սակայն, քանի որ կիսահաղորդչային սարքավորումների, ավիատիեզերական օպտիկայի և բժշկական միկրոսարքերի նման արդյունաբերությունները ներխուժում են այնպիսի ոլորտներ, որտեղ նույնիսկ ջերմային շեղումը կամ մանրադիտակային մաշվածությունը առաջացնում են անընդունելի սխալ, ի հայտ է գալիս հղման գործիքների նոր դաս՝ այնպիսիք, որոնք պատրաստված են ոչ թե մետաղից կամ քարից, այլ առաջադեմ տեխնիկական կերամիկայից:

ZHHIMG-ում մենք անցել ենք պարզապես առաջարկելուց այն կողմԿերամիկական ուղիղ քանոնկամ կերամիկական քառակուսի քանոն արտադրանք: Մենք վերանայում ենք ուղիղ եզրի իմաստը՝ համատեղելով գերկայուն կերամիկական նյութերը ժամանակակից դիզայնի հետ, ներառյալ մեր նորարարական կերամիկական օդային լողացող քանոնը, որը լուծում է, որը լիովին վերացնում է մեխանիկական շփումը՝ միաժամանակ ապահովելով նանոմետրական մակարդակի կրկնելիություն:

Ինչո՞ւ կերամիկա։ Պատասխանը սկսվում է մոլեկուլային մակարդակից։ Ի տարբերություն պողպատի, որը զգալիորեն ընդարձակվում է ջերմաստիճանի հետ, կամ գրանիտի, որը, չնայած իր կայունությանը, մնում է ծակոտկեն և տարասեռ, ինժեներական կերամիկան, ինչպիսիք են ցիրկոնիումով ամրացված ալյումինի (ZTA) և սիլիցիումի նիտրիդը, առաջարկում է գրեթե զրոյական ծակոտկենություն, բացառիկ կարծրություն (1400–1800 HV) և ջերմային ընդարձակման գործակիցներ՝ մինչև 3–4 մկմ/մ·°C։ Սա նշանակում է, որ ZHHIMG-ի կերամիկական ուղիղ եզրը պահպանում է իր երկրաչափությունը ջերմաստիճանի տատանումների ժամանակ, որոնք կարող էին աղավաղել ավանդական գործիքները մի քանի միկրոնով։

Սակայն միայն նյութը բավարար չէ։ Մեր կերամիկական քանոնները իսկապես առանձնանում են դրանց արտադրության ճշգրտությամբ։ ISO Class 5 մաքուր սենյակներում ադամանդե հղկման, ենթաապերտուրային հղկման և լազերային ինտերֆերոմետրիկ վավերացման միջոցով մենք հասնում ենք 0.8 մկմ-ից ավելի ուղիղության հանդուրժողականության 500 մմ-ի վրա, որը ստուգվել է ոչ միայն մատակարարման պահին, այլև փաստաթղթավորված է NIST և PTB ստանդարտներին համապատասխանող լիարժեք կալիբրացման հաշվետվություններում։ ԱմենԿերամիկական քառակուսի քանոնենթարկվում է ուղղահայացության թեստավորման էլեկտրոնային ավտոկոլիմացիայի միջոցով՝ ապահովելով, որ անկյունները պահպանվեն 1 աղեղն վայրկյանի սահմաններում (≈0.5 µմ շեղում 100 մմ-ի դեպքում):

Սրանք տեսական տեխնիկական բնութագրեր չեն։ Սրանք գործնական իրականություններ են այն հաճախորդների համար, ովքեր այլևս չեն կարող իրենց թույլ տալ զիջումներ։ Առաջատար EUV լիտոգրաֆիայի բաղադրիչների մատակարարն այժմ օգտագործում է մեր կերամիկական ուղիղ քանոնը բացառապես հայելու հենարանների շրջանակները հավասարեցնելու համար։ «Պողպատե քանոնները ծռվել են երկար էքսպոզիցիայի ցիկլերի ընթացքում», - մեզ ասաց նրանց գլխավոր չափագետը։ «Գրանիտը կլանել է մասնիկները։ Կերամիկական տարբերակը՞։ Այն կայուն է եղել 18 ամիս՝ վերաչափման կարիք չկա»։

Այնուամենայնիվ, նույնիսկ կատարյալ երկրաչափությունը կարող է խաթարվել շփման պատճառով: Քանոնը մակերեսի վրայով քաշելով՝ դուք ռիսկի եք դիմում միկրոքերծվածքների, յուղային թաղանթի խանգարման կամ առաձգական դեֆորմացիայի, հատկապես փափուկ մետաղների կամ հղկված օպտիկայի վրա: Ահա թե որտեղ է ZHHIMG-ի նորարարությունը առաջ ցատկում՝ Custom Ceramic օդային լողացող քանոնով:

Սա պարզապես կերամիկական ուղիղ եզր չէ՝ անցքերով։ Սա լիովին նախագծված աերոստատիկ համակարգ է, որը նախագծված է հաշվողական հեղուկային դինամիկայի միջոցով՝ քանոնի ամբողջ երկարությամբ միատարր, շերտավոր օդի հոսք ապահովելու համար։ Մաքուր, չոր օդով (կամ զգայուն միջավայրերում ազոտով) ճնշման դեպքում քանոնը լողում է 5-10 միկրոն բարձրության վրա՝ վերացնելով ֆիզիկական շփումը՝ պահպանելով կատարյալ հավասարեցում։ Արդյունքը՝ իրական անհպում չափում՝ հարթության, ուղիղության կամ աստիճանի բարձրության ստուգման համար, կրկնելիությամբ մինչև ±0.2 միկրոն։

Շվեյցարիայում գտնվող քվանտային հաշվարկների լաբորատորիաներից մեկն այժմ օգտագործում է 600 մմ-անոց Custom Ceramic օդային լողացող քանոն՝ գերհաղորդիչ չիպերի կրիչները ստուգելու համար: «Ցանկացած շփում՝ նույնիսկ փափուկ գրիչի հետ, առաջացնում է լարվածություն, որը փոխում է քուբիթների աշխատանքը», - բացատրեց նրանց տեխնոլոգիական ինժեները: «Օդային լողացող կերամիկական քանոնը մեզ տալիս է անհրաժեշտ հղումը՝ առանց մասի հետ շփվելու: Այն դարձել է կարևորագույն առաքելություն»:

Սա հնարավոր է դարձնում ZHHIMG-ի նյութագիտության, ճշգրիտ մեքենայացման և չափագիտության փորձագիտության եզակի ինտեգրացիան: Մինչ շատ մատակարարներ կերամիկան դիտարկում են որպես կառուցվածքային բաղադրիչներ, մենք դրանք օպտիմալացնում ենք որպես չափման արտեֆակտներ: Մեր կերամիկական քառակուսի քանոնի դիզայնը ներառում է թեքված եզրեր՝ չիպսերը կանխելու համար, անփայլ հետևի մասեր՝ ստուգման լուսավորության տակ շողշողունությունը նվազեցնելու համար, և ավտոմատացված տեսողական համակարգերի համար լրացուցիչ ֆիդուցիալ մարկերներ: Մաքուր սենյակների կիրառման համար մակերեսները հղկվում են մինչև Ra < 0.02 µm՝ մասնիկների կպչունությունը նվազագույնի հասցնելու համար:

Եվ քանի որ յուրաքանչյուր կիրառություն տարբեր է, մենք չենք հավատում բոլորի համար նախատեսված միանման լուծումներին: Ձեզ անհրաժե՞շտ է կերամիկական ուղիղ եզր՝ ներկառուցված վակուումային ալիքներով՝ ստուգման ընթացքում բարակ վաֆլիները պահելու համար: Մենք այն կառուցել ենք: Պահանջվում էքառակուսի քանոնՁեր CMM զոնդի ծայրին համապատասխան անցքերո՞վ։ Պատրաստ է։ Ցանկանո՞ւմ եք կերամիկական օդային լողացող քանոն՝ ներկառուցված ճնշման սենսորներով և թվային հարթեցման հետադարձ կապով։ Այն արդեն բետա թեստավորման փուլում է Tier-1 աէրոտիեզերական հաճախորդի հետ։

Հետևեց արդյունաբերության ճանաչումը: 2025 թվականի «Գլոբալ առաջադեմ չափագիտության ակնարկում» ZHHIMG-ն նշվեց որպես միակ ընկերությունը, որն առաջարկում է հավաստագրված կերամիկական հղման գործիքների ամբողջական ընտանիք՝ ներառյալ լողացող տարբերակները՝ լիարժեք երկրաչափական վավերացմամբ և թվային հետևողականությամբ: Բայց ավելի կարևոր է, որ ընդունումը արագանում է. մեր կերամիկական քանոնի պատվերների ավելի քան 60%-ը այժմ գալիս է այն ոլորտներից, որոնք նախկինում նման գործիքները համարում էին «չափազանցություն», մինչև որ չչափեցին տարբերությունը:

Բժշկական սարքերի ստարտափը, որը զբաղվում է նեյրոնային իմպլանտների արտադրությամբ, պողպատից անցավ մեր կերամիկական քառակուսի քանոնի և առաջին անցման արտադրողականությունը 22%-ով աճեց։ «Հին քառակուսին տիտանե պատյանների վրա միկրոխոռոչներ էր թողնում», - ասաց նրանց որակի ապահովման մենեջերը։ «Մենք նույնիսկ չգիտեինք դա, մինչև անցումը չանցանք։ Հիմա յուրաքանչյուր մաս առաջին փորձից անցնում է տեսողական և չափսերի ստուգում»։

Այսպիսով, երբ գնահատում եք ձեր հաջորդ չափագիտության արդիականացումը, հարցրեք ինքներդ ձեզ. Իմ ներկայիս ուղիղ եզրը ավելացնո՞ւմ է անորոշություն, թե՞ վերացնում այն:

Եթե ​​ձեր գործընթացը գործում է հայտնաբերելիության սահմաններում, պատասխանը կարող է թաքնված լինել կերամիկայի մեջ՝ ոչ թե որպես նորույթ, այլ որպես անհրաժեշտություն: ZHHIMG-ում մենք ոչ միայն արտադրում ենք կերամիկական ուղիղ քանոն, կերամիկական քառակուսի քանոն կամ կերամիկական ուղիղ եզրերով գործիքներ: Մենք վստահություն ենք ներդնում յուրաքանչյուր միկրոնի մեջ: