Արդյո՞ք հաջորդ սերնդի կերամիկական չափիչ սարքերը վերանայում են գերբարձր ճշգրտության սահմանները։

Կալիբրացման լաբորատորիաների, կիսահաղորդչային մաքուր սենյակների և աէրոտիեզերական չափագիտության սրահների լուռ դահլիճներում տեղի է ունենում լուռ հեղափոխություն։ Այն չի առաջնորդվում միայն ծրագրային ապահովմամբ կամ սենսորներով, այլ հենց այն նյութերով, որոնք կազմում են չափման հիմքը։ Այս փոփոխության առաջնագծում են առաջադեմ կերամիկական չափիչ գործիքները, այդ թվում՝ գերկայուն կերամիկական օդային ուղիղ քանոնը և բացառիկ կոշտ, բարձր ճշգրտությամբ սիլիցիում-կարբիդային (Si-SiC) զուգահեռ և քառակուսի կառուցվածքները։ Սրանք պարզապես գործիքներ չեն. դրանք նոր դարաշրջանի հնարավորություններ են ստեղծում, որտեղ կայունությունը, կրկնելիությունը և ջերմային չեզոքությունը անբաժանելի են։

Կես դարից ավելի սև գրանիտը գերիշխող դեր է խաղացել ճշգրիտ չափագիտության մեջ: Դրա բնական խոնավացումը, ցածր ջերմային ընդարձակումը և գերազանց հարթությունը այն դարձրել են մակերեսային թիթեղների, քառակուսիների և ուղիղ եզրերի համար նախընտրելի նյութ: Այնուամենայնիվ, քանի որ արդյունաբերությունները ձգտում են ենթամիկրոնային և նույնիսկ նանոմետրային մասշտաբի հանդուրժողականությունների, հատկապես կիսահաղորդչային լիտոգրաֆիայի, տիեզերական օպտիկայի և քվանտային հաշվարկների մեջ, գրանիտի սահմանափակումները գնալով ավելի ակնհայտ են դառնում: Այն ծանր է, ենթակա է միկրոչիպավորման բազմակի շփման դեպքում և, չնայած իր հեղինակությանը, դեռևս ցուցաբերում է աննշան երկարաժամկետ սողանք բեռի կամ շրջակա միջավայրի տատանումների դեպքում:

Մտնենք ինժեներական կերամիկայի մեջ. ոչ թե առօրյա երևակայության փխրուն կավագործական իրեր, այլ խիտ, միատարր, բարձր արդյունավետությամբ նյութեր, որոնք կռվել են ծայրահեղ ջերմության և ճնշման տակ: Դրանց մեջ չափագիտության կիրառման համար առանձնանում են երկու դաս՝ բարձր մաքրության ալյումին (Al₂O₃) և ռեակցիայով կապված սիլիցիումի կարբիդ (Si-SiC): Չնայած երկուսն էլ առաջարկում են զգալի բարելավումներ ավանդական նյութերի համեմատ, դրանք կատարում են տարբեր դերեր և միասին ներկայացնում են չափողական չափագիտության հնարավորության առաջատարը:

Վերցրեք, օրինակ, կերամիկական օդային ուղիղ քանոնը: Նախատեսված օդային կրող աստիճանների կամ օպտիկական ինտերֆերոմետրերի հետ օգտագործելու համար, այս գործիքը պահանջում է գրեթե կատարյալ ուղիղություն, նվազագույն զանգված և զրոյական ջերմային շեղում: Ալյումինի վրա հիմնվածկերամիկական քանոններ—մեքենայացված մինչև հարթություն և ուղիղություն ±0.5 մկմ սահմաններում 500 մմ-ի վրա և հղկված մինչև մակերեսային կոպտություն Ra 0.02 մկմ-ից ցածր՝ ապահովում են հենց դա։ Դրանց ցածր խտությունը (~3.6 գ/սմ³) նվազեցնում է իներցիան դինամիկ չափման համակարգերում, մինչդեռ դրանց ոչ մագնիսական, ոչ հաղորդիչ բնույթը վերացնում է զգայուն էլեկտրոնային կամ մագնիսական միջավայրերում միջամտությունը։ Վաֆլերի ստուգման գործիքներում կամ լազերային հետևորդների կարգաբերման համակարգերում, որտեղ նույնիսկ աղեղի մեկ միկրոնը կարող է աղավաղել արդյունքները, կերամիկական օդային ուղիղ քանոնը ապահովում է կայուն, իներտ հղում, որը մնում է ճշմարիտ ջերմաստիճանի տատանումների և շահագործման ցիկլերի ընթացքում։

Սակայն, երբ պահանջվում է առավելագույն կոշտություն և ջերմահաղորդականություն, օրինակ՝ տիեզերական աստղադիտակների հայելու դասավորության կամ բարձր հզորության լազերային խոռոչների չափագիտության մեջ, ինժեներները դիմում են բարձր ճշգրտությամբ սիլիցիում-կարբիդային (Si-SiC) զուգահեռաձիգ և քառակուսի բաղադրիչների: Si-SiC-ն հայտնի ամենակարծր նյութերից մեկն է, որի Յունգի մոդուլը գերազանցում է 400 ԳՊա-ն՝ պողպատի մոդուլից երեք անգամ ավելի, և ջերմահաղորդականությունը մրցակցում է ալյումինի հետ: Կարևոր է, որ դրա ջերմային ընդարձակման գործակիցը (CTE) կարող է նախագծվել՝ համապատասխանելու օպտիկական ապակիների կամ սիլիցիումային թիթեղների մոդուլին, ինչը հնարավորություն է տալիս գրեթե զրոյական դիֆերենցիալ ընդարձակում ունենալ հիբրիդային հավաքույթներում: EUV լիտոգրաֆիայի գործիքում որպես գլխավոր հղում օգտագործվող Si-SiC քառակուսին ոչ միայն կպահպանի իր ձևը, այլև ակտիվորեն կդիմադրի տեղայնացված տաքացումից կամ թրթռումից առաջացող աղավաղմանը:

Այս նվաճումները հնարավոր են դարձնում ոչ միայն նյութը, այլև կերամիկական չափիչ գործիքների արտադրության վարպետությունը: Օրինակ՝ Si-SiC-ի ճշգրիտ մեքենայացումը պահանջում է ադամանդե հղկող սկավառակներ, ենթամիկրոնային CNC հարթակներ և բազմաստիճան հղկման գործընթացներ, որոնք իրականացվում են ջերմաստիճանի կարգավորմամբ միջավայրերում: Նույնիսկ անպատշաճ սինտերացումից առաջացած աննշան մնացորդային լարվածությունը կարող է հանգեցնել մեքենայական մշակումից հետո դեֆորմացիայի: Ահա թե ինչու միայն մի քանի ընտրված համաշխարհային արտադրողներ են նյութերի սինթեզը, ճշգրիտ ձևավորումը և վերջնական չափագիտությունը ինտեգրում մեկ տանիքի տակ՝ մի հնարավորություն, որը տարբերակում է իրական չափագիտությամբ արտադրողներին ընդհանուր կերամիկական մատակարարներից:

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) ընկերությունում այս ուղղահայաց ինտեգրումը կենտրոնական դեր ունի մեր առաքելության մեջ: Մեր կերամիկական չափիչ սարքերը, ներառյալ DIN 874 AA դասի հավաստագրված կերամիկական օդային ուղիղ քանոնի մոդելները և PTB և NIST ստանդարտներին համապատասխանող բարձր ճշգրտության սիլիցիում-կարբիդային (Si-Si-C) զուգահեռ և քառակուսի արտեֆակտները, արտադրվում են ISO 7 դասի մաքուր սենյակներում՝ օգտագործելով սեփական սինտերացման և մշակման արձանագրություններ: Յուրաքանչյուր բաղադրիչ ենթարկվում է ինտերֆերոմետրիկ լիարժեք վավերացման, երկրաչափական հանդուրժողականությունների (հարթություն, զուգահեռություն, ուղղահայացություն) CMM ստուգման և մակերեսի ամբողջականության ստուգման՝ առաքումից առաջ: Արդյունքը հղման կարգի արտեֆակտ է, որը ոչ միայն համապատասխանում է պահանջներին, այլև կայունորեն գերազանցում է դրանք խմբաքանակների ընթացքում:

Նման կատարողականի պահանջարկը կտրուկ աճում է: Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ, EUV և բարձր NA լիտոգրաֆիկ համակարգերը պահանջում են հավասարեցման կառուցվածքներ, որոնք կայուն են տասնյակ նանոմետրերի սահմաններում մետրային մասշտաբի հեռավորությունների վրա, ինչը անհնար է առանց Si-SiC-ի ջերմամեխանիկական սիներգիայի: Ավիատիեզերքում, կերամիկական հղմամբ պատրաստված արբանյակային օպտիկական նստարանները ապահովում են ուղեծրի վրա կայունություն՝ չնայած ծայրահեղ ջերմային ցիկլին: Նույնիսկ զարգացող ոլորտներում, ինչպիսիք են գրավիտացիոն ալիքների հայտնաբերումը կամ ատոմային ժամացույցի մշակումը, որտեղ կարևոր է պիկոմետրի մակարդակի կայունությունը, կերամիկական և Si-SiC չափագիտական ​​արտեֆակտները դառնում են անփոխարինելի:

Կարևոր է նշել, որ այս գործիքները նաև լուծում են կայունության և սեփականության ընդհանուր արժեքի հարցերը: Չնայած բարձր ճշգրտության սիլիցիում-կարբիդային զուգահեռանիստի սկզբնական ներդրումը կարող է գերազանցել գրանիտի համարժեքի ներդրումը, դրա ծառայության ժամկետը կարող է 5-10 անգամ ավելի երկար լինել ինտենսիվ օգտագործման միջավայրերում: Այն չի պահանջում յուղում, դիմադրում է բոլոր տարածված լուծիչներին և պլազմային, և երբեք կարիք չունի վերակարգավորման խոնավության կլանման պատճառով՝ ի տարբերություն թուջի կամ նույնիսկ որոշ գրանիտների: AS9100, ISO 13485 կամ SEMI ստանդարտներով գործող որակի մենեջերների համար այս հուսալիությունը ուղղակիորեն թարգմանվում է անսարքության ժամանակի կրճատման, աուդիտի արդյունքների ավելի քիչ քանակի և հաճախորդների ավելի մեծ վստահության:

Ավելին, այս գործիքների գեղագիտական ​​և ֆունկցիոնալ նրբագեղությունը չպետք է անտեսվի: Հղկված Si-SiC քառակուսին փայլում է մետաղական փայլով, բայց կշռում է ավելի թեթև, քան պողպատը: Կերամիկական օդային ուղիղ քանոնը ամուր է թվում, բայց հեշտությամբ բարձրանում է՝ իդեալական լինելով նեղ տարածքներում ձեռքով ստուգման համար: Այս մարդակենտրոն որակները կարևոր են իրական աշխարհի լաբորատորիաներում, որտեղ էրգոնոմիկան և օգտագործման հեշտությունը ազդում են ամենօրյա աշխատանքային հոսքի վրա:

Այսպիսով, արդյո՞ք կերամիկական չափիչ գործիքները վերաիմաստավորում են գերբարձր ճշգրտությունը: Պատասխանը թաքնված է տվյալներում և այն գլոբալ առաջատարների աճող ցանկում, որոնք այժմ դրանք սահմանում են որպես ստանդարտ: Ազգային չափագիտական ​​ինստիտուտներից, որոնք վավերացնում են հաջորդ սերնդի երկարության ստանդարտները, մինչև էլեկտրական մեքենաների փոխանցման համակարգի բաղադրիչները հավաստագրող 1-ին մակարդակի մատակարարները, փոփոխությունը հստակ է. երբ անորոշությունը պետք է նվազագույնի հասցվի, ինժեներները վստահում են մշակված կերամիկային:

Եվ քանի որ արդյունաբերությունները շարունակում են իրենց անդադար երթը դեպի ատոմային մասշտաբի կառավարում, մեկ ճշմարտություն անհերքելի է դառնում. չափման ապագան չի փորագրվի քարից կամ չի ձուլվի մետաղի մեջ։ Այն կմաքրվի, կհղկվի և կփայլեցվի կերամիկայի և սիլիցիումի կարբիդի մեջ։

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) ընկերությունը համաշխարհային ճանաչում ունեցող նորարար է գերճշգրիտ կերամիկական և սիլիցիում-կարբիդային չափագիտական ​​լուծումների ոլորտում: Մասնագիտանալով կերամիկական չափիչ գործիքների, կերամիկական օդային ուղիղ քանոնի և բարձր ճշգրտությամբ սիլիցիում-կարբիդային (Si-SiC) զուգահեռաձողային և քառակուսի բաղադրիչների մեջ՝ ZHHIMG-ն մատակարարում է լիովին հավաստագրված, լաբորատոր որակի արտեֆակտներ կիսահաղորդչային, ավիատիեզերական, պաշտպանական և գիտահետազոտական ​​կիրառությունների համար: ISO 9001, ISO 14001 և CE հավաստագրերով ապահովված մեր արտադրանքը վստահում են աշխարհի առաջատար տեխնոլոգիական ձեռնարկությունները: Ծանոթացեք մեր առաջադեմ չափագիտական ​​​​պորտֆոլիոյին հետևյալ հղումով՝www.zhhimg.com.